[實用新型]一種基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420308506.4 | 申請日： | 2014-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN203908664U | 公開（公告）日： | 2014-10-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 高翔;劉文 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州智梭傳感科技有限公司 |
| 主分類號： | G01H11/08 | 分類號： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 常州市天龍專利事務(wù)所有限公司 32105 | 代理人： | 周建觀 |
| 地址： | 213164 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 表面波 具有 溫度 補(bǔ)償 振動 傳感器 | ||
1.一種基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，包括殼體（1）和殼蓋（2），所述殼體（1）和殼蓋（2）密封連接，其特征在于：
a、還包括基座（8）、壓電組件（5）和三個聲表面波諧振器（4），所述基座（8）固定在殼體（1）內(nèi)的底部；
b、所述壓電組件（5）是由壓電薄膜（6）和壓電基片（3）構(gòu)成，所述壓電薄膜設(shè)在壓電基片（3）的上表面，壓電基片（3）的一端為固定端，另一端為懸伸端，壓電薄膜（6）的一端和壓電基片（3）的固定端均固定在基座（8）上，且高于殼體（1）內(nèi)的底面，
至少有一個聲表面波諧振器（4）設(shè)在壓電薄膜（6）的上表面，剩余的聲表面諧振器（4）設(shè)在壓電薄膜（6）和壓電基片（3）之間；
c、所述三個聲表面波諧振器（4）并聯(lián)連接，且諧振頻率各不相同；
d、所述三個聲表面波諧振器（4）所產(chǎn)生的聲表面波均在Y方向傳播，而所述Y方向是指與沿著壓電基片（3）的固定端向壓電基片（3）的懸伸端的伸出方向相垂直的方向。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，其特征在于：還包括壓塊（9）；所述壓塊（9）設(shè)在壓電基片（3）的懸伸端，且所述壓塊（9）與壓電基片（3）是固定連接的或者是互為一體的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，其特征在于：所述壓塊（9）與壓電基片（3）固定連接時，所述壓塊（9）是金壓塊，或者是銀壓塊，或者是鉑壓塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，其特征在于：所述殼體（1）和殼蓋（2）分別是金屬殼體和金屬殼蓋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，其特征在于：所述殼體（1）和殼蓋（2）分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，其特征在于：所述壓電薄膜（6）是氧化鋅或者是氮化鋁。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y振動傳感器，其特征在于：所述壓電基片（3）可以是ST切石英、或者是FST-切石英。
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