[實(shí)用新型]一種基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420308488.X
• 申請(qǐng)日: 2014-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN203949722U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高翔;劉文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州智梭傳感科技有限公司
• 主分類號(hào): G01H11/08
• 分類號(hào): G01H11/08
• 代理公司: 常州市天龍專利事務(wù)所有限公司 32105
• 代理人: 周建觀

1.一種基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)，包括殼體（1）和殼蓋（2），所述殼體（1）和殼蓋（2）密封連接，其特征在于：

a、還包括基座（8）、壓電基片（3）和三個(gè)聲表面波諧振器（4），所述基座（8）固定在殼體（1）內(nèi)的底部；

b、所述壓電基片（3）的一端為固定端，另一端為懸伸端，所述壓電基片（3）的固定端固定在基座（8）上，且高于殼體（1）內(nèi)的底面，

三個(gè)聲表面波諧振器（4）均設(shè)在壓電基片（3）的上表面；

c、所述三個(gè)聲表面波諧振器（4）并聯(lián)連接，且諧振頻率各不相同；

d、所述三個(gè)聲表面波諧振器（4）所產(chǎn)生的聲表面波均在Y方向傳播，而所述Y方向是指與沿著壓電基片（3）的固定端向壓電基片（3）的懸伸端的伸出方向相垂直的方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：還包括壓塊（9）；所述壓塊（9）設(shè)在壓電基片（3）的懸伸端，且所述壓塊（9）與壓電基片（3）是固定連接的或者是互為一體的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述壓塊（9）與壓電基片（3）固定連接時(shí)，所述壓塊（9）是金壓塊，或者是銀壓塊，或者是鉑壓塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述殼體（1）和殼蓋（2）分別是金屬殼體和金屬殼蓋。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述殼體（1）和殼蓋（2）分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述壓電基片（3）可以是ST切石英、或者是FST-切石英。