[實用新型]一種基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器

有效

• 申請號: 201420308442.8
• 申請日: 2014-06-11
• 公開（公告）號: CN203909065U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 高翔;劉文
• 申請（專利權）人: 常州智梭傳感科技有限公司
• 主分類號: G01P15/09
• 分類號: G01P15/09
• 代理公司: 常州市天龍專利事務所有限公司 32105
• 代理人: 周建觀

1.一種基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，包括殼體（1）和殼蓋（2），所述殼體（1）和殼蓋（2）密封連接，其特征在于：

a、還包括壓電基片（3）、壓電薄膜（6）、基座（8）和三個聲表面波諧振器（4），所述壓電薄膜（6）設在壓電基片（3）的上表面，所述基座（8）固定在殼體（1）內的底面上，壓電基片（3）的一端為固定端，另一端為懸伸端，壓電薄膜（6）的一端和壓電基片（3）的固定端均固定在基座（8）上，且高于殼體（1）內的底面；

b、至少有一個聲表面波諧振器（4）設在壓電薄膜（6）的上表面，剩余的聲表面諧振器（4）設在壓電薄膜（6）和壓電基片（3）之間；

c、所述三個聲表面波諧振器（4）并聯連接，且諧振頻率各不相同；

d、所述三個聲表面波諧振器（4）所產生的聲表面波均在x方向傳播，而所述x方向是指沿著壓電基片（3）的固定端向壓電基片（3）的懸伸端的伸出方向。

2.根據權利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，其特征在于：還包括壓塊（9），所述壓塊（9）設在壓電基片（3）的懸伸端，且所述壓塊（9）與壓電基片（3）是固定連接的或者是互為一體的。

3.根據權利要求2所述的基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，其特征在于：所述壓塊（9）與壓電基片（3）固定連接時，所述壓塊（9）是金壓塊，或者是銀壓塊，或者是鉑壓塊。

4.根據權利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，其特征在于：所述殼體（1）和殼蓋（2）分別是金屬殼體和金屬殼蓋。

5.根據權利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，其特征在于：所述殼體（1）和殼蓋（2）分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。

6.根據權利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，其特征在于：所述壓電薄膜（6）是氧化鋅或者是氮化鋁。

7.根據權利要求1所述的基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器，其特征在于：所述壓電基片（3）是ST切石英、或者是FST-切石英。