[實用新型]一種光罩盒位置監控系統

有效

• 申請號: 201420307350.8
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN203941380U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 潘鋒
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種光罩盒位置監控系統，其特征在于，所述系統至少包括：?

上表面載有光罩盒的傳送主體；所述光罩盒具有遮光的中心底座和透光的外殼；?

固定于所述傳送主體上表面由邊框構成且將所述光罩盒嵌于其中的矩形組件；?

所述矩形組件的第一邊上設有第一半反射鏡和位于該第一半反射鏡的反射面一側的光源，位于所述第一邊上且用于接收所述第一半反射鏡反射光的第二半反射鏡；?

第一半反射鏡的透射光和所述第二半反射鏡的反射光分別依次經過所述光罩盒的外殼和中心底座；?

所述矩形組件中與所述第一邊相平行的另一第一邊上設有依次用于接收所述第一半反射鏡透射光以及第二半反射鏡反射光的第一、第二傳感器；?

設于所述傳送主體上表面的至少兩個活動支柱；所述活動支柱位于所述矩形組件內支撐所述光罩盒且經過所述第一半反射鏡透射光。?

2.根據權利要求1所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述光源發出的至所述第一半反射鏡的反射面的入射光與該反射面的夾角呈45度；所述第二半反射鏡的反射面與所述第一半反射鏡的反射面相對且相互平行；所述第二半反射鏡與所述第一半反射鏡位于沿所述矩形組件該第一邊的同一直線上。?

3.根據權利要求1或2所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述系統還包括用于接收所述第二半反射鏡的透射光的全反射鏡和用于接收所述全反射鏡反射光的第三傳感器；所述全反射鏡與所述第一、第二半反射鏡位于所述矩形組件的所述第一邊上；所述第二半反射鏡位于所述全反射鏡與所述第一半反射鏡之間；所述全反射鏡的反射光經過所述光罩盒的外殼和至少一個活動支柱；所述第三傳感器位于與所述第一邊相平行的另一第一邊上。?

4.根據權利要求3所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述全反射鏡與所述第一、第二半反射鏡位于同一直線上且所述全反射鏡的反射面與所述第一半反射鏡的反射面相對且相互平行；所述第一至第三傳感器位于沿所述矩形組件的所述另一第一邊的同一直線上。?

5.根據權利要求4所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述第二半反射鏡與所述第一半反射鏡的距離等于該第二半反射鏡與所述全反射鏡之間的距離。?

6.根據權利要求5所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述系統還包括用于推動所述?光罩盒且卡扣于所述矩形組件中兩條彼此平行的第二邊的抓手；所述抓手與一彈簧連接；所述彈簧連接于一馬達；所述第一至第三傳感器分別連接于所述馬達。?

7.根據權利要求6所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述矩形組件的兩條相互平行的第二邊中每條第二邊上均設有一個所述抓手。?

8.根據權利要求6所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述馬達與所述彈簧的連接端為凸輪機構，所述馬達不工作時所述彈簧處于拉伸狀態。?

9.根據權利要求1所述的光罩盒位置監控系統，其特征在于：所述光源為紅外激光源。?