[實用新型]顯影液噴嘴組件和顯影裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420304963.6
• 申請日: 2014-06-09
• 公開（公告）號: CN203882094U
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 伍強;郝靜安;孔德平
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種半導(dǎo)體技術(shù)，特別是涉及一種顯影液噴嘴組件和顯影裝置。?

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工藝中，光刻工藝有著舉足輕重的地位。在進行離子注入或刻蝕之前，需要通過光刻工藝形成光刻膠圖案，以預(yù)先定義出待刻蝕或離子注入的區(qū)域。因而，光刻工藝的好壞直接影響刻蝕或離子注入的結(jié)果，并最終影響形成半導(dǎo)體器件的電性。?

一般的，光刻工藝的主要步驟有：?

首先，在半導(dǎo)體晶圓表面旋涂光刻膠層，并進行軟烘烤，以增強光刻膠的黏著性；?

然后，進行曝光，以將掩膜板上的圖案轉(zhuǎn)移至所述光刻膠層上。其中，在曝光過程中，所述光刻膠層上被曝光區(qū)域的光刻膠會發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。?

然后，進行顯影工藝，以形成光刻膠圖案。具體為向所述光刻膠層表面噴顯影液，使得所述光刻膠層形成為光刻圖形，然后采用去離子水將顯影液和光刻膠殘渣去除。其中，對于正光刻膠而言，所述光刻膠層中被曝光的區(qū)域與顯影液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而溶解于顯影液，對于負光刻膠而言，所述光刻膠層中未被曝光的區(qū)域與顯影液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而溶解于顯影液。?

如圖1所示，為傳統(tǒng)工藝中一種所述顯影工藝中所用的顯影裝置，所述顯影裝置適于在顯影工藝中進行噴顯影液或去離子水。包括：輸出管道20、壓力容器22和噴嘴23。所述噴嘴23一般為豎直的細管。在噴嘴23的正下方為硅片基臺(未圖示)，在硅片基臺上平放一晶圓10，晶圓10表面為經(jīng)過曝光處理的光刻膠層。液體(顯影液或者去離子水)30通過輸出管道20、壓力容器22和噴嘴23，滴落到晶圓10表面，對光刻膠層進行顯影，或者清洗顯影液反應(yīng)后的光刻膠層。所述噴嘴23對晶圓10表面噴灑液體時，所述晶圓基座帶動晶圓進行快速旋轉(zhuǎn)，以將滴在所述晶圓10表面中心位置的液體盡可能均勻的甩在所述晶圓10表面的其它部位。?

而利用類似圖1中的顯影裝置進行的顯影形成的圖形中，處于噴嘴23正下方的晶圓10中心處的光刻膠層和處于晶圓10靠邊緣處的光刻膠層中的圖案大小不一致，均勻性不好。隨著集成電路工藝的線寬的逐漸減小，這樣的顯影方式漸漸不適應(yīng)生產(chǎn)要求，故需要一種新的顯影方式來解決這個問題。?

實用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種顯影液噴嘴組件和顯影裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中顯影后處于晶圓中心處的光刻膠層和處于晶圓靠邊緣處的光刻膠層中的圖案大小不一致，均勻性不好的問題。?

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種顯影液噴嘴組件，所述顯影液噴嘴組件至少包括：?

噴管，所述噴管包括上喇叭口和下喇叭口，所述上喇叭口和下喇叭口的小口相對連接；?

流量調(diào)節(jié)閥，所述流量調(diào)節(jié)閥包括倒錐形部和壓縮件，所述壓縮件與所述倒錐形部的底部相連；?

所述倒錐形部從所述上喇叭口一端伸入所述噴管中，并適于被所述壓縮件推動著在所述上喇叭口中上下移動，使所述上喇叭口和所述倒錐形部之間的空間大小發(fā)生變化。?

優(yōu)選地，所述壓縮件包括螺紋套和螺釘，所述螺紋套固定設(shè)置于所述上喇叭口上方，所述螺釘?shù)牡撞颗c所述倒錐形部的底部相對連接，所述螺釘在所述螺紋套中旋轉(zhuǎn)，以使得所述倒錐形部在所述上喇叭口中上下移動。?

優(yōu)選地，所述壓縮件還包括密封圈，所述密封圈位于所述螺紋套上方或者下方。?

優(yōu)選地，所述下喇叭口的大口的直徑為5mm～25mm，所述下喇叭口的小口的直徑為1mm～5mm。?

優(yōu)選地，所述下喇叭口的內(nèi)半角為30°～70°。?

優(yōu)選地，所述顯影液噴嘴組件為石英玻璃顯影液噴嘴組件。?

本實用新型還提供一種顯影裝置，所述顯影裝置包括：?

如上所述的顯影液噴嘴組件；?

輸出管道和壓力容器；?

所述壓力容器的側(cè)壁中設(shè)置有連接孔，所述壓力容器上壁設(shè)置有上安裝孔，所述壓力容器的下壁設(shè)置有下安裝孔；所述連接孔與所述輸出管道的出口相通，所述噴管設(shè)置于所述下安裝孔中，所述壓縮件貫穿于所述上安裝孔中。?

優(yōu)選地，所述顯影裝置還包括：液壓調(diào)節(jié)裝置，所述液壓調(diào)節(jié)裝置適于調(diào)節(jié)所述輸出管道中的液壓維持在預(yù)設(shè)液壓范圍內(nèi)。?

優(yōu)選地，所述輸出管道的側(cè)壁設(shè)置有開口，所述液壓調(diào)節(jié)裝置，包括一波紋管，所述波紋管的一端為密封端，所述波紋管的另一端與所述輸出管道的側(cè)壁的開口相連通。?

優(yōu)選地，所述液壓調(diào)節(jié)裝置包括：?

泵，所述泵適于將顯影液或者去離子水送入所述輸出管道中；?

液壓傳感器，所述液壓傳感器設(shè)置于所述輸出管道中，適于測量所述輸出管道中的液壓；?