[實用新型]一種接觸式掃描測頭

有效

• 申請號: 201420298964.4
• 申請日: 2014-06-06
• 公開（公告）號: CN203929035U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 仇谷烽;崔旭東
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

1.一種接觸式掃描測頭，其特征在于：它包括測量桿、測量臂和旋轉軸；所述的旋轉軸為一個氣浮軸承（5）；所述測量桿包括擺臂（3）和圓弧光柵（1），擺臂（3）的頂端為一個圓弧面, 所述圓弧面的圓心與氣浮軸承（5）的旋轉中心重合，圓弧光柵（1）貼合在圓弧面上，擺臂（3）的底端與氣浮軸承（5）連接；擺臂（3）的二側分別安裝左限位擋塊(9) 和右限位擋塊(10)；圓弧光柵讀數頭（2）固定在測量桿的正上方,光柵讀數頭（2）通過引出的光柵線纜（8）與光柵信號處理裝置的光柵信號輸入接口連接；所述測量臂（6）的一端固定在氣浮軸承（5）上，另一端安裝紅寶石測針（7）；氣浮軸承（5）連接測量臂（6）和測量桿；氣浮軸承（5）上安裝有接觸力調節螺母（4）。

2.根據權利要求1所述的一種接觸式掃描測頭，其特征在于：氣浮軸承（5）的徑向跳動小于0.1微米。