[實用新型]一種帶有真空穩壓裝置的切割系統

有效

• 申請號: 201420295863.1
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203973353U
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 劉思佳
• 申請（專利權）人: 蘇州凱锝微電子有限公司
• 主分類號: B24B27/06
• 分類號: B24B27/06;B24B41/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，包括切割機以及與切割機相連的抽真空設備，所述抽真空設備與切割機的一真空吸附件連通，其特征是，還包括連通所述切割機和抽真空設備的真空穩壓裝置，所述真空穩壓裝置包括中空且密封的箱狀、筒狀或管狀的殼體，所述殼體上設有與所述真空吸附件連通的進氣口，與所述抽真空設備連通的出氣口，以及位于所述進氣口和出氣口下方的出水口，所述殼體具有一傾斜的側壁，在所述進氣口下方形成導流面。

2.根據權利要求1所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述切割機通過一第一真空管與殼體的進氣口相連，第一真空管與進氣口連接的部位軸線沿豎直方向。

3.根據權利要求2所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述第一真空管管口對著所述導流面或者伸入進氣口抵在所述導流面上。

4.根據權利要求1所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述殼體還具有一傾斜的底部，所述導流面的底端延伸至所述底部的較高一端，所述出水口設置在所述底部較低的一端或緊靠較低一端設置。

5.根據權利要求1所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述殼體上設有一安裝角度固定的進氣管，所述切割機通過一第一真空管與進氣管相連，進氣管的管口作為所述進氣口。

6.根據權利要求5所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述進氣管軸線沿豎直方向。

7.根據權利要求5所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述進氣管軸線平行于所述導流面傾斜方向，進氣管伸入殼體且伸入部分緊靠導流面設置。

8.根據權利要求1所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述殼體呈三通管狀，包括軸線分別水平的第一支管和第二支管，還包括軸線沿豎直方向的第三支管；所述第一支管的管口為進氣口，所述切割機通過一第一真空管與第一支管相連，且第一真空管伸入第一支管至位于第三支管管口上方；所述第二支管的管口為出氣口，所述抽真空設備通過一第二真空管與第二支管相連；所述第三支管的管口為出水口，第三支管的一側壁形成所述導流面。

9.根據權利要求8所述的一種帶有真空穩壓裝置的切割系統，其特征是，所述第三支管為上大下小的漏斗狀。