[實用新型]鋼瓶帽和鋼瓶系統

有效

• 申請號: 201420291716.7
• 申請日: 2014-06-03
• 公開（公告）號: CN204213638U
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 苗根盛;王永財
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F17C13/06
• 分類號: F17C13/06
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體領域，尤其涉及一種鋼瓶帽和鋼瓶系統。

背景技術

半導體廠所需采用的氣體大多采用鋼瓶來供應。為適應半導體制程的需要，通常需要在廠區配置多種氣體，因此在生產現場通常會儲存數百只供氣鋼瓶。

由于鋼瓶數量眾多，且每只鋼瓶內部均具有較大的壓強，因此氣體泄漏的現象在所難免。鋼瓶內氣體泄露的后果將非常嚴重，大量的腐蝕氣體、易燃甚至毒性氣體泄露到環境中可能會造成設備停機，嚴重的甚至造成人員傷亡。

現在業界通常的做法是利用一種叫緊急泄漏搶救桶，即ERCV(Emergency?Response?Containment?Vessel，俗稱炮車或鐵棺材)的設備來處理出現泄露現象的鋼瓶。當泄漏檢測裝置檢測到有鋼瓶出現氣體泄漏時，工作人員進入現場將出現泄漏的鋼瓶放入ERCV，實現對鋼瓶的整體密封，以避免氣體進一步泄漏到環境中。但是，ERCV非常大非常笨重，操作起來十分不便，讓操作人員受累的同時，也容易耽誤搶修的進程，造成泄漏現象的加劇。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種鋼瓶帽和鋼瓶系統，使得鋼瓶漏氣現象能夠得到較快較容易地控制，將其危害減小到最低。

基于此，本實用新型提供一種用于密封一鋼瓶的鋼瓶帽，所述鋼瓶帽包括帽體和位于所述帽體上的鎖固系統。

可選的，所述鋼瓶的開口處具有鋼瓶螺紋，所述鎖固系統包括對應于所述鋼瓶螺紋的鋼瓶帽螺紋，所述鋼瓶螺紋和鋼瓶帽螺紋能夠互相嵌合。

可選的，所述帽體為圓柱體，所述圓柱體的頂面密封且底面敞開，所述鋼瓶帽螺紋位于所述帽體內壁靠近所述底面的一端。

可選的，所述鎖固系統還包括防漏墊圈，設置于所述底面上。

可選的，所述鎖固系統還包括固定于所述頂面的旋緊螺母。

可選的，還包括連通至所述帽體內部的排氣管。

可選的，在所述排氣管上具有閥門。

可選的，還包括設置于所述排氣管上，用于偵測所述帽體內部壓力的壓力表。

本實用新型還提供一種鋼瓶系統，包括鋼瓶及所述的鋼瓶帽。

可選的，在所述鋼瓶系統中，所述鋼瓶的開口位于所述鋼瓶的頂端。

本實用新型提供的鋼瓶帽具有帽體和鎖固系統，出現氣體泄漏時，將帽體鎖固與鋼瓶上，能確保鋼瓶露出的氣體不會泄露到環境中。所述鎖固系統包括鋼瓶帽螺紋、旋緊螺母和防漏墊圈，鋼瓶帽還包括連通至帽體內部的排氣管，排氣管能連接廢氣處理系統處理以泄露到帽體中的氣體。鋼瓶帽與鋼瓶組成的鋼瓶系統，能將鋼瓶漏出的氣體鎖在鋼瓶帽中從而避免嚴重后果的出現。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例所述鋼瓶帽的透視圖。

圖2為本實用新型一實施例所述鋼瓶系統的示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

通常，在鋼瓶的開口處，即鋼瓶的上端具有開口螺紋，便于鎖固鋼瓶帽。現有的鋼瓶帽一般只是起到保護鋼瓶上瓶閥的作用，但本實用新型所述的鋼瓶帽上設置有鎖固系統，出現氣體泄漏時，將帽體鎖固與鋼瓶的開口處加以密封，能確保鋼瓶露出的氣體不會泄露到環境中，起到保護周圍環境的作用，因此要求更好的密封性和牢固度。

圖1為本實施例所述鋼瓶帽的透視圖。如圖1所示，鋼瓶帽包括帽體100和位于帽體100上的鎖固系統。所述鎖固系統包含鋼瓶帽螺紋1、旋緊螺母120和防漏墊圈110。

帽體100為圓柱體，所述圓柱體包含頂面10和底面20，其中頂面10密封且底面20敞開。當鋼瓶出現漏氣狀況時，將鋼瓶帽的底面20朝下蓋在鋼瓶出口處，使得鋼瓶上的瓶閥容置在帽體100之內。所述鋼瓶帽螺紋1位于所述帽體100內壁靠近所述底面20的一端，鋼瓶帽的底面20朝下蓋在鋼瓶出口處以后，轉動帽體100使得鋼瓶帽螺紋1與鋼瓶螺紋逐漸嵌合，將鋼瓶的瓶閥密封在帽體100之內。

為了實現鋼瓶螺紋和鋼瓶帽螺紋1的嵌合，鋼瓶螺紋和鋼瓶帽螺紋1的螺紋互相對應，即如果鋼瓶螺紋是正牙，則鋼瓶帽螺紋1為反牙，反之，若鋼瓶螺紋為反牙，則鋼瓶帽螺紋1為正牙。

鎖固系統還包括位于頂面10上的旋緊螺母120。旋緊螺母120固定在帽體100上，當帽體100蓋在鋼瓶上后，通過用扳手扣住旋緊螺母120而轉動帽體100，能更緊密地將帽體120固定在鋼瓶上。