[實(shí)用新型]旋滑式光干涉彈流潤滑薄膜測量儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420291328.9
• 申請日: 2014-06-04
• 公開（公告）號: CN204142192U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭艷青;劉衛(wèi)國;楊開荔;郭峰;任志強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 日照裕鑫動(dòng)力有限公司;青島理工大學(xué)
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01B11/24
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 卜令濤;魏振柯

1.?一種旋滑式光干涉彈流潤滑薄膜測量儀，包括一個(gè)由上臺面（11）、下底板（12）和連接上臺面（11）、下底板（12）的支撐柱（13）構(gòu)成的操作臺單元（1），其中下底板（12）底面設(shè)置支撐螺釘（14）以調(diào)節(jié)臺面的水平，其特征在于：

1）有一個(gè)由伺服電機(jī)（21）、小同步帶輪（22）、同步帶（23）、大同步帶輪（24）和張緊輪機(jī)構(gòu)（27）構(gòu)成的XL型同步帶傳動(dòng)單元（2），驅(qū)動(dòng)玻璃盤（81）旋轉(zhuǎn)；其中伺服電機(jī)（21）通過電機(jī)座（25）、電機(jī)機(jī)架座（26）固定安裝在上臺面底面，小同步帶輪（22）安裝在伺服電機(jī)軸上，大同步帶輪（24）安裝在主軸(83)上，張緊輪機(jī)構(gòu)（27）安裝在上臺面底面以調(diào)節(jié)同步帶（23）的張緊力；

2）有一個(gè)通過安裝板(31)固定在上臺面底面，由空氣過濾器(32)、油霧分離器(33)、電氣比例閥(34)、加壓氣桿(35)、直通接頭(36)、對絲(37)構(gòu)成的氣動(dòng)加壓單元（3）；其中，空氣過濾器(32)、油霧分離器(33)、電氣比例閥(34)之間用對絲(37)聯(lián)通，并固定在安裝板(31)上，加壓氣桿(35)通過直通接頭(36)與電氣比例閥(34)聯(lián)通并通過加載臺（62）為加載托板（61）施加壓力；

3）有一個(gè)由操作面板（41）、導(dǎo)軌（42）和螺旋傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（43）組成的面板驅(qū)動(dòng)單元（4），其中導(dǎo)軌（42）通過一組螺釘孔固定在上臺面上，操作面板（41）由螺旋傳動(dòng)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)沿導(dǎo)軌（42）往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)鋼球（511）沿玻璃盤（81）徑向直線移動(dòng)；

4）有一個(gè)由鋼球夾持機(jī)構(gòu)（51）、軸承球托機(jī)構(gòu)（52）構(gòu)成的鋼球固定調(diào)整單元（5）；其中鋼球夾持機(jī)構(gòu)（51）安裝在操作面板（41）上并隨操作面板（41）一起運(yùn)動(dòng)，軸承球托機(jī)構(gòu)（52）固定在加載托板（61）上；

5）有一個(gè)由上述加載臺（62）、加載托板（61）、測力傳感器（63）和保持架軸（64）、支架（65）構(gòu)成的加載單元（6）；測力傳感器兩端的螺桿分別連接加載臺（62）與加載托板（61）的一端，加載托板（61）的另一端通過保持架軸與支架鉸接，支架固定在操作面板（41）上；

6）有一個(gè)設(shè)置在操作面板（41）上并處在由一個(gè)鋼球（511）和所述玻璃盤（81）組成的摩擦副正上方，由支座（71）、平移臺（72）、連接板（73）、支桿（74）和顯微鏡（75）構(gòu)成的顯微干涉測量單元（7）；其中支座安裝在操作面板（41）上，平移臺安裝在支座上，連接板固定支桿后安裝在平移臺上，顯微鏡以及配套的CCD安裝在支桿上，CCD對準(zhǔn)摩擦副；

7）有一個(gè)由上述大同步帶輪（24）、玻璃盤（81）、玻璃盤壓套（82）、主軸(83)、外套筒（84）、軸承內(nèi)套（85）、兩對并列安裝的角接觸球軸承（86）、上端蓋（87）、下端蓋（88）、預(yù)緊螺母（89）、玻璃盤調(diào)平墊片（810）組成的主軸單元（8）；其中安裝在主軸(83)上的大同步帶輪（24）通過小同步帶輪（22）和同步帶（23）把伺服電機(jī)（21）的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞給與鋼球（511）組成摩擦副的玻璃盤（81），玻璃盤（81）通過玻璃盤調(diào)平墊片和玻璃盤壓套緊固在主軸上，兩對并列安裝的角接觸球軸承安裝在主軸和外套筒之間以實(shí)現(xiàn)玻璃盤（81）隨主軸(83)一起旋轉(zhuǎn)；外套筒固定在上臺面(11)上，軸承內(nèi)套和預(yù)緊螺母與兩對并列安裝的角接觸球軸承內(nèi)圈接觸，上端蓋（87）、下端蓋（88）與角接觸球軸承外圈接觸；

8）所述上臺面(11)和下底板（12）之間安裝有外殼（9）；其中后板和左、右板固定安裝在上臺面(11)和下底板（12）上，前殼由兩塊可對開的安裝有暗插銷的面板組成，用鉸鏈分別安裝在左、右板上；

9）有一個(gè)防塵罩（10），以不固定方式放置在上臺面(11)的安裝槽中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋滑式光干涉彈流潤滑薄膜測量儀，其特征在于：所述張緊輪機(jī)構(gòu)（27）包括帶輪（273）、帶輪軸（271）、深溝球軸承（272）、輪座（274）、調(diào)節(jié)座（275）和調(diào)節(jié)螺桿（276）；深溝球軸承安裝在帶輪和帶輪軸之間，帶輪通過一組螺釘孔固定在輪座上，輪座和調(diào)節(jié)座安裝在上臺面底面。