[實用新型]膠盤轉動裝置及具有膠盤轉動裝置的固晶機有效
| 申請號: | 201420286829.8 | 申請日: | 2014-05-30 |
| 公開(公告)號: | CN203941939U | 公開(公告)日: | 2014-11-12 |
| 發明(設計)人: | 徐育塤;謝洹圳;蕭欽騰;陳圣杰;張添賀 | 申請(專利權)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京中譽威圣知識產權代理有限公司 11279 | 代理人: | 王正茂;叢芳 |
| 地址: | 中國臺灣新*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 轉動 裝置 具有 固晶機 | ||
1.一種膠盤轉動裝置,其特征在于,所述膠盤轉動裝置包含:
馬達,其具有第一轉軸;
第一磁性環,其位于所述第一轉軸上,使所述第一磁性環隨所述第一轉軸轉動;
第二轉軸,其長度方向垂直或平行于所述第一轉軸的長度方向,且所述第二轉軸的一端具有磁吸部;
第二磁性環,其位于所述第二轉軸相對所述磁吸部的另一端,且與所述第一磁性環相隔一個間隙,當所述第一磁性環轉動時,所述第二磁性環受磁力帶動而轉動;
膠盤,其具有連接部與環繞所述連接部的膠體容置部;以及
磁吸元件,其位于所述連接部上,使所述連接部可拆卸地吸附于所述第二轉軸的所述磁吸部。
2.如權利要求1所述的膠盤轉動裝置,其特征在于,所述的膠盤轉動裝置還包含:
刮刀,其對準于所述膠體容置部,且與所述膠體容置部之間具有垂直距離。
3.如權利要求2所述的膠盤轉動裝置,其特征在于,所述刮刀平行于所述第二轉軸。
4.如權利要求1所述的膠盤轉動裝置,其特征在于,所述第一磁性環與所述第二磁性環均具有間隔排列的多個N極與多個S極。
5.如權利要求1所述的膠盤轉動裝置,其特征在于,所述磁吸元件或所述磁吸部為磁鐵。
6.一種固晶機,其特征在于,所述固晶機包含:
傳輸裝置,其用來傳送基板;
膠盤轉動裝置,其位于所述傳輸裝置上方,所述膠盤轉動裝置包含:
馬達,其具有第一轉軸;
第一磁性環,其位于所述第一轉軸上,使所述第一磁性環隨所述第一轉軸轉動;
第二轉軸,其長度方向垂直或平行于所述第一轉軸的長度方向,且所述第二轉軸的一端具有磁吸部;
第二磁性環,其位于所述第二轉軸相對所述磁吸部的另一端,且與所述第一磁性環相隔一個間隙,當所述第一磁性環轉動時,所述第二磁性環受磁力帶動而轉動;
膠盤,其具有連接部與環繞所述連接部的膠體容置部,其中所述膠體容置部用來容置膠體;以及
磁吸元件,其位于所述連接部上,使所述連接部可拆卸地吸附于所述第二轉軸的所述磁吸部;以及
點膠裝置,其可移動地位于所述傳輸裝置上方,且具有沾膠針,其用來沾粘所述膠體容置部中的所述膠體至所述基板。
7.如權利要求6所述的固晶機,其特征在于,所述膠盤轉動裝置還包含:
刮刀,其對準于所述膠體容置部,且與所述膠體容置部之間具有垂直距離。
8.如權利要求7所述的固晶機,其特征在于,所述刮刀平行于所述第二轉軸。
9.如權利要求6所述的固晶機,其特征在于,所述第一磁性環與所述第二磁性環均具有間隔排列的多個N極與多個S極。
10.如權利要求6所述的固晶機,其特征在于,所述磁吸元件或所述磁吸部為磁鐵。
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