[實用新型]一種用于太陽能電池擴散機臺的新型石英管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420286667.8
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN203904506U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張衡
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥海潤光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 劉燕嬌

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種石英管，具體涉及一種用于太陽能電池擴散機臺的新型石英管。

背景技術(shù)

在太陽能電池片的生產(chǎn)過程中，擴散為重要工序，擴散后的硅片質(zhì)量直接影響著電池片的主要性能，擴散工藝流程中，需要將硅片連通石英托架一起放入石英管中，為了使擴散更穩(wěn)定，PN結(jié)更均勻分布，必須保證爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定和氣密性良好，首先用負壓檢測來檢測爐管的氣密性是否符合要求，若符合，則進行下一步，若不符合，則工藝終止，經(jīng)檢查和調(diào)節(jié)氣密性后方可再次運行工藝。然而，在清洗石英管時將石英管拆下前，經(jīng)常因為管尾處小管空間較小，拆除時稍不注意就會導(dǎo)致其斷裂，而使石英管失去使用價值。

石英管使用頻繁且價格昂貴，在正常生產(chǎn)過程中，在石英管尾部，用于噴淋工藝的小管在爐內(nèi)和爐外高低溫分界處，石英管噴淋小管處經(jīng)常被腐蝕，腐蝕嚴重后容易出現(xiàn)小孔，導(dǎo)致爐管氣密性不達標，只能更換新的石英管并將已腐蝕的石英管返修，但石英管返修僅將小孔堵住，維修雖然簡單，但需要專業(yè)設(shè)備來進行，所以返廠維修費用較高，返修后的石英管再次投入使用時，也會因為同樣的問題導(dǎo)致無法使用，被腐蝕后再次返修。

故，需要一種新的技術(shù)方案以解決上述問題。

實用新型內(nèi)容

實用新型目的：針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題和不足，本實用新型的目的是提供一種用于太陽能電池擴散機臺的新型石英管，可有效避免石英管的噴淋尾管被腐蝕的情況，延長石英管的使用壽命。

技術(shù)方案：為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為一種用于太陽能電池擴散機臺的新型石英管，所述石英管尾端包括用于噴淋工藝的噴淋小管、第二小管、熱電偶固定尾管和用于排放尾氣的第四小管，所述第二小管用于通入電子摻雜劑。

作為本實用新型的進一步優(yōu)化，所述噴淋小管用與之直徑相適配的石英圓塊替代。

有益效果：?本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過切除噴淋小管用適配的石英塊替代，有以下優(yōu)點：

1、能有效避免因為噴淋小管被腐蝕而導(dǎo)致石英管無法使用的現(xiàn)象；

2、能有效避免由于噴淋小管的球碗密封不好而導(dǎo)致工藝無法正常運行的現(xiàn)象，有效降低擴散機臺的故障發(fā)生率；

3、減少石英球碗的使用，實現(xiàn)降低成本的目的；

4、切除噴淋小管后的石英管，在拆卸過程中具有較大的安全距離，大大降低了拆除時因人為因素導(dǎo)致其他尾管被碰斷的幾率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為實施例中切除噴淋小管后的石英管尾部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖，進一步闡明本實用新型，應(yīng)理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。

?????如圖1所示，石英管的尾端包括4根尾管，噴淋小管1，用于噴淋工藝，電子摻雜劑用氣體帶入噴淋小管1內(nèi)且均勻噴灑在管內(nèi)，當(dāng)不使用噴淋工藝，用球碗將此小管堵住；第二小管2的作用為工藝進行時向管內(nèi)通入電子摻雜劑，同時用大量氮氣將電子摻雜劑推進，保證電子摻雜劑在爐內(nèi)分布均勻以達到均勻的擴散效果；熱電偶固定尾管3，熱偶用于檢測爐內(nèi)實時溫度，同時引出一根細管，用于檢測爐內(nèi)氣體壓力，使用壓差傳感器控制補充氣體的大小，保證爐內(nèi)壓力穩(wěn)定；第四小管4為尾氣排放管固定尾管，用排風(fēng)將爐內(nèi)廢氣抽走，當(dāng)爐內(nèi)壓力降低時，由第四小管4通入補充氣體。

由于光伏電池現(xiàn)狀，極少用到噴淋工藝，在非噴淋工藝中，噴淋小管都會用石英球碗將管尾處堵住，而在噴淋工藝中，噴淋小管容易被腐蝕而造成石英管無法使用，故噴淋小管為多余裝置。

實施例：

由于石英管的硬度很高，先用專業(yè)切割工具，如樹脂金剛石超薄切割刀，將噴淋小管1沿著石英管管壁切除；切除后，石英管尾部外壁上會留下外徑為28mm的圓孔，選擇厚度3mm石英塊，切割好直徑為28±0.5mm的圓塊，由于石英管的熔點約1730℃，故選擇氫氧焰焊接機將此石英圓塊焊接在切除噴淋尾管后的圓孔處；為避免焊接處凹凸不平將石英管壓碎，必須將焊接處打磨平整；為防止石英管在長期使用后由于受力不均或受到不同程度腐蝕出現(xiàn)小孔，需要消除焊接處厚薄不均的現(xiàn)象；焊接完成后，測試焊接處的密封性，必須保證焊接處無絲毫漏氣，確認無漏氣后才能再次投入使用。

????如圖2所示，切除后的石英管僅保留三根尾管。

本實用新型的新型石英管減少了石英球碗的使用，同時不會造成高低溫分界點，避免尾管被腐蝕，且由于噴淋小管的切除，在拆除石英管時，增加了很大的安全距離，大大減少石英管損壞的幾率，從而提高石英管的使用效率，?延長其使用壽命。