[實用新型]一種導模法棒狀藍寶石晶體的生長設備

有效

• 申請號: 201420284269.2
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN203923452U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 薛衛明;馬遠;邱一豇;牛沈軍;吳勇;周健杰
• 申請（專利權）人: 江蘇中電振華晶體技術有限公司
• 主分類號: C30B15/34
• 分類號: C30B15/34;C30B29/20
• 代理公司: 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙) 11316
• 代理人: 滑春生

1.一種導模法棒狀藍寶石晶體的生長設備，包括：用于晶體生長的熱場及抽真空裝置，該熱場設置有模具、坩堝、加熱器；所述模具的中央具有毛細縫，該模具放置在所述坩堝中，該坩堝的下方具有一支撐該坩堝的坩堝架，所述坩堝通過坩堝架放置在所述熱場的底部；所述加熱器由置于熱場外的高頻感應線圈及置于熱場內坩堝周圍的發熱管組成，通過高頻感應線圈感應加熱使發熱管發熱；所述熱場由保溫桶、上保溫蓋及下保溫蓋組成，所述上保溫蓋中心設置有籽晶桿；其特征在于：所述保溫桶周圍還具有若干氣體導流通道，所述氣體導流通道的出氣口正對模具的上端面處，所述氣體導流通道的進氣口與輸氣軟管相連，該輸氣軟管上配備有流量調節閥。

2.根據權利要求1所述的一種導模法棒狀藍寶石晶體的生長設備，其特征在于：所述氣體導流通道以保溫桶的中心為圓心呈環狀均勻分布在保溫桶周圍。

3.根據權利要求1所述的一種導模法棒狀藍寶石晶體的生長設備，其特征在于：所述氣體導流通道由緩沖流道及出氣流道組成，所述緩沖流道從進氣口方向至出氣口方向口徑逐漸減小。

4.根據權利要求1所述的一種導模法棒狀藍寶石晶體的生長設備，其特征在于：所述緩沖流道通過切割加工的方式形成。

5.根據權利要求4所述的一種導模法棒狀藍寶石晶體的生長設備，其特征在于：所述切割加工的方式為鉆孔。