[實用新型]石英管擴散爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420279431.1 | 申請日： | 2014-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN203947184U | 公開（公告）日： | 2014-11-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 嚴(yán)義博;張晶;張興德;周平;曹允波 | 申請（專利權(quán)）人： | 江陰鑫輝太陽能有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/06 | 分類號： | C30B31/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐紉蘭;曾丹 |
| 地址： | 214426 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英管 擴散 | ||
1.一種石英管擴散爐，它包括橫置的圓柱形擴散爐爐體（1），其特征在于所述擴散爐爐體（1）的尾部中間連接有進氣管（2），進氣管（2）的外端設(shè)置有進氣管球頭（2.1），所述擴散爐爐體（1）的尾部下部設(shè)置有排廢管（3）以及測溫管（4），排廢管（3）與測溫管（4）的中心線分別偏離擴散爐爐體（1）豎向中心線22mm以及25mm，排廢管（3）的外端設(shè)置有排廢管球頭（3.1），測溫管（4）的外端設(shè)置有測溫管球頭（4.1）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英管擴散爐，其特征在于所述擴散爐爐體（1）的頂部內(nèi)部設(shè)置有沿徑向間隔布置的兩個吊環(huán)（5），吊環(huán)（5）的壁厚為2mm，吊環(huán)（5）的外徑為22mm，吊環(huán)（5）的長度為25mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種石英管擴散爐，其特征在于擴散爐爐體（1）的壁厚為5mm，擴散爐爐體（1）的內(nèi)徑為300mm；進氣管（2）的壁厚為3mm，進氣管（2）長度為167mm，進氣管（2）的外徑為30mm；排廢管（3）長度為167mm，排廢管（3）的外徑為20mm，排廢管球頭（3.1）的外徑不得超出擴散爐爐體（1）外徑；測溫管（4）的壁厚為3mm，測溫管（4）長度為167mm，測溫管（4）的外徑為30mm，測溫管球頭（4.1）的外徑不得超出擴散爐爐體（1）外徑。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于江陰鑫輝太陽能有限公司，未經(jīng)江陰鑫輝太陽能有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201420279431.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：納米復(fù)合紗的制備裝置
- 下一篇：外延生長用晶片載盤
