[實用新型]一種微納結構封閉管道有效

申請號：	201420273522.4	申請日：	2014-05-26
公開（公告）號：	CN204111306U	公開（公告）日：	2015-01-21
發明（設計）人：	平財明;徐厚嘉;劉升升;方建聰	申請（專利權）人：	上海藍沛新材料科技股份有限公司
主分類號：	B81C1/00	分類號：	B81C1/00
代理公司：	上海光華專利事務所 31219	代理人：	李儀萍
地址：	201262 上海市***	國省代碼：	上海;31
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種結構封閉管道
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

技術領域

本實用新型屬于微納米結構制造領域，特別是涉及一種微納結構封閉管道。?

背景技術

微納米結構尺度的封閉管道的制備可以應用微機電系統(MEMS)的工藝在一塊硅片上實現。一般來說，MEMS中制備微納米封閉管道首先是在硅片上涂覆一層光刻膠作為犧牲層，所述犧牲層一般包括PI等有機材料，或銅、硅等無機材料，或直接在硅片表面制備的一層氧化層，利用特制的掩膜版使部分光刻膠分解后顯出特定互聯圖形；而后沉積結構層，在結構層上通過刻蝕工藝制備一通孔到犧牲層表面為止；隨后注入丙酮或其它堿性溶劑，溶劑透過通孔溶化光刻膠，光刻膠制成的犧牲層就被去除了，結構層下形成了空腔；因為結構層上還開有通孔以及間隙，需要進行密封，方法有多種，包括簡單的涂覆環氧樹脂或光刻膠、化學氣相沉積密封層、結構層表面氧化與晶圓鍵合等。還有一種普遍應用的方法是在光刻膠曝光成形后，直接刻蝕硅片形成圖形，繼而將有圖形的硅片與有圖形的蓋板(玻璃或者硅片)進行鍵合，構成微納米級的封閉管道。?

但這樣制備微納米尺度的封閉管道工藝復雜，需要穩定的工作環境、多種昂貴的專業設備、復雜的材料調配以及熟練的操作人員，投入成本大，制備的產品精度高；但不耐熱耐壓，成本高昂，而且以硅片為基板，沒有可撓折能力。?

現階段出現了一種更經濟更有效率的微納米封閉管道的制備方法。在柔性或者玻璃、金屬以及陶瓷表面涂覆一層壓印膠，應用一表面具有凸起結構的模板在壓印膠上進行壓印，或者涂覆結構膠-光刻膠，使用掩膜版進行刻蝕形成一系列微納米溝槽；應用濺射或電鍍技術，在凝固成型的壓印膠表面覆蓋一薄金屬層，該金屬可以為銅等良導熱材料，該金屬層致密，導熱性優異；準備一片與基材長寬相同的金屬薄膜，該金屬可以為銅等良導熱材料，利用特種膠水將金屬薄膜與基材結構面粘合，將原來的微納米級溝槽構成封閉管道。?

這樣的微納米尺度的封閉管道工藝簡單，各方面投入小，成本較低，柔性基材的選用使產品具有可撓性；但使用膠水粘合，膠的流動性控制不好容易封死管道，產品整體厚度增加，管道的密封性有待考量，可能會影響使用壽命。?

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種微納結構封閉管道，用?于解決現有技術中微納結構封閉管道及其制備的技術難度大，成本高，不耐高溫高壓或管道容易堵塞、密封性能低、厚度較大等問題。?

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種微納結構封閉管道，包括：?

基底；?

柔性材料層，結合于所述基底表面，所述柔性材料層表面形成有多個凹槽結構；?

金屬層，結合于所述柔性材料層及各凹槽結構的表面；?

金屬薄膜，結合于所述柔性材料層表面的金屬層，與各凹槽結構組合成多個封閉管道。?

作為本實用新型的微納結構封閉管道的一種優選方案，所述金屬層與所述金屬薄膜的結合方式為通過超聲焊接工藝形成的表面分子間的熔合。?

作為本實用新型的微納結構封閉管道的一種優選方案，所述基底包括玻璃基底、陶瓷基底、鋁箔、銅箔、PET柔性基底及PI柔性基底中的一種。?

作為本實用新型的微納結構封閉管道的一種優選方案，所述柔性材料層為UV膠層或熱固化膠層。?

作為本實用新型的微納結構封閉管道的一種優選方案，所述凹槽結構的深度為30微米～50微米，寬度為不小于50微米。?