[實(shí)用新型]硅片輸送緩沖導(dǎo)軌

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420269543.9
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203950795U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡炳耀;張軍虎;曹允波
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰鑫輝太陽能有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

1.一種硅片輸送緩沖導(dǎo)軌，它包括支撐平臺（1），支撐平臺（1）的前端設(shè)置有支撐座（2），支撐平臺（1）的后端設(shè)置有直線電機(jī)（3），支撐座（2）從下至上包括支撐底板（2.1）、調(diào)節(jié)絲桿（2.2）以及支撐頂板（2.3），支撐底板（2.1）固定于支撐平臺（1）上，支撐底板（2.1）的中部以及支撐底板（2.1）下方對應(yīng)處的支撐平臺（1）開設(shè)有絲桿孔，調(diào)節(jié)絲桿（2.2）穿過絲桿孔至支撐平臺（1）下方，調(diào)節(jié)絲桿（2.2）的頂部連接支撐頂板（2.3），支撐頂板（2.3）以及直線電機(jī)（3）的頂部之間架設(shè)有行走臂（4），行走臂（4）上開設(shè)有兩道行走槽，行走槽內(nèi)設(shè)置有輸送帶，輸送帶通過直線電機(jī)（3）帶動(dòng)。