[實用新型]一種MEMS光纖傳聲器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420269405.0 | 申請日： | 2014-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN203912196U | 公開（公告）日： | 2014-10-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 施存炬;張建國 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波興隆電子有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 寧波市鄞州盛飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33243 | 代理人： | 張向飛 |
| 地址： | 315135 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 光纖 傳聲器 | ||
1.一種MEMS光纖傳聲器，其特征在于：包括外殼（1）、PCB板（4）、MEMS振膜（2）和光纖（6），所述外殼（1）的兩側(cè)與PCB板（4）的底面粘合，PCB板（4）上設(shè)有用于防止光纖（6）竄動的止推片（5），在止推片（5）上設(shè)有用于設(shè)置MEMS振膜（2）的凹形振膜座（3），所述MEMS振膜（2）置于振膜座（3）的內(nèi)凹處，所述光纖（6）依次貫穿振膜座（3）、止推片（5）和PCB板（4）后引出，且另一端與MEMS振膜（2）之間留有一定空隙，所述外殼（1）的頂面且在光纖（6）上方開設(shè)有進聲孔，所述PCB板（4）上設(shè)有光電探測器和光電二極管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS光纖傳聲器，其特征在于：所述MEMS振膜（2）和光纖（6）之間空隙距離為0.2~0.6mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種MEMS光纖傳聲器，其特征在于：所述光纖（6）的中央為多膜的發(fā)射光纖，在發(fā)射光纖周圍環(huán)繞有多模的接收光纖，所述光纖（6）的內(nèi)徑一般為0.4~0.5mm，所述光纖的外徑一般為0.8~1.0mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種MEMS光纖傳聲器，其特征在于：所述MEMS振膜（2）是用MEMS技術(shù)生成的氮化硅膜，并在膜的環(huán)狀邊界處用激光打孔。
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