[實用新型]一種法蘭焊接裝置

有效

• 申請號: 201420268991.7
• 申請日: 2014-05-23
• 公開（公告）號: CN203875508U
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 張志麗;楊永剛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B23K37/00
• 分類號: B23K37/00;F16L23/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術領域

本實用新型涉及半導體設備領域，特別是涉及一種法蘭焊接裝置。

背景技術

法蘭是管子與管子之間相互連接的零件，用于管路端口之間的連接。法蘭連接使用方便，能夠承受較大的壓力，是管道施工的重要連接方式。如圖1所示為常見的法蘭結構，法蘭1包括一個圓環11以及均勻分布于所述圓環11上的多個螺栓口12。法蘭與法蘭之間的連接是在兩個法蘭之間加上法蘭墊，在螺栓口12中以螺栓將兩個法蘭緊固在一起，完成連接。根據法蘭與管路之間的連接方式，可將法蘭分為絲接法蘭和焊接法蘭，絲接法蘭的圓環內徑處帶螺紋，可以通過螺紋將絲接法蘭擰到帶螺紋的管路上，一般適用于壓力比較小的管路；焊接法蘭的圓環內徑處不帶螺紋，需要通過焊接將焊接法蘭跟管路焊接在一起，適用于各種壓力的管路連接。晶圓廠的生產中，常需要有機溶劑來處理晶圓，由于有機溶劑的易燃易爆特性，有機溶劑的輸送必須使用封閉的管路來實現，同時有機溶劑的輸送需要承受一定的壓力，所以有機溶劑管路的連接法蘭一般是焊接法蘭。

正是因為有機溶劑的易燃易爆特性，必須確保有機溶劑管路的密封性能良好，一旦泄露勢必會產生有機溶劑異味，影響晶圓廠中的生產，甚至會有火災隱患。而有機溶劑管路法蘭焊接處為整個管路系統的薄弱環節，法蘭易受腐蝕而引起泄漏。為了解決法蘭受腐蝕而引起的有機溶劑泄露可采用在有機溶劑管路的法蘭外涂層或者包裹的處理方法，但是這種涂層或包裹的方法不夠嚴密很容易受高壓作用和有機溶劑的腐蝕引起再次泄漏，不能從根本上解決問題。所以有機溶劑管路的維護需要對法蘭進行定期的檢查，當發現泄漏情況時及時更換法蘭以確保生產安全。

焊接法蘭的更換方法一般是通過切割將導致泄漏的法蘭從管路上取下，然后再通過電焊將新的法蘭焊接上管路，在法蘭之間加上墊片，再通過螺栓固定連接法蘭以實現管路的連接。更換法蘭需要涉及切割或電焊等動火作業，所以必須停產清洗管路，確保動火作業的施工安全，如果不停產勢必引起火災造成有機溶劑管路竄燒，后果不堪設想。但是，晶圓生產中的停產直接影響經濟效益，會帶來比較大的經濟損失。

因此，如何在不停產的前提下，更換有機溶劑管路的法蘭成為本領域的技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種法蘭焊接裝置，用于解決現有技術中更換法蘭需停產、造成經濟損失等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種法蘭焊接裝置，所述法蘭焊接裝置至少包括：設置于管路端口的氣囊，所述氣囊連接于充氣裝置；位于所述氣囊上方的冷卻裝置以及朝向于管路端口的清潔裝置。

優選地，所述氣囊的材質為橡膠。

優選地，所述充氣裝置給所述氣囊中充入的氣體為氮氣。

優選地，所述氣囊完全充滿后的直徑不小于所述管路的直徑。

優選地，所述氣囊充氣后與所述管路氣密連接。

優選地，所述冷卻裝置為水槍。

更優選地，所述水槍連接冷卻水。

優選地，所述氣囊的正下方還放置一個承接漏斗。

優選地，所述清潔裝置為吹氣槍。

更優選地，所述吹氣槍吹入的氣體為氮氣。

如上所述，本實用新型的法蘭焊接裝置，具有以下有益效果：

本實用新型的法蘭焊接裝置在不停產的前提下進行動火作業，隔絕火源與有機溶劑，使得不停產更換有機溶劑法蘭成為可能，減小經濟損失。

附圖說明

圖1顯示為現有技術中的法蘭結構示意圖。

圖2顯示為本實用新型的法蘭焊接裝置示意圖。

元件標號說明

1???????????????????????法蘭

11??????????????????????圓環

12?????????????????????螺栓口

2??????????????????????法蘭焊接裝置

21?????????????????????氣囊

22?????????????????????充氣裝置

23?????????????????????冷卻裝置

24?????????????????????清潔裝置

25?????????????????????承接漏斗

3??????????????????????主管

4??????????????????????支管

5??????????????????????法蘭

具體實施方式