[實用新型]一種新型濕法卸片流水板

有效

• 申請號: 201420268766.3
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203938186U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 高燁;牛海濤;趙文龍;胡曉亮;邵奇
• 申請（專利權）人: 洛陽單晶硅有限責任公司
• 主分類號: B65G51/01
• 分類號: B65G51/01
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

1.一種新型濕法卸片流水板，其特征是：所述的一種新型濕法卸片流水板主要是由進水底板（1）、出水板（2）構成；其中進水底板（1）與出水板（2）用膠粘合為一體，用螺栓通過安裝孔（6）安裝在單晶硅拋光片濕法卸片臺上，進水底板（1）上設置有安裝孔（6）、底板進水孔（8），底板水路（9）；底板水路（9）由四條豎向水路、兩條橫向水路組成；出水板（2）上設置有單排橫向出水孔（3）、硅片定位板（4）、硅片定位板安插孔（5）、安裝孔（6）、硅片感應器安裝孔（7）；出水板進水孔（10）與出水孔（3）之間有一條直徑尺寸為1mm的圓柱型連接水路（11），硅片定位板（4）通過定位板安插軸（12）安插在硅片定位板安插孔（5）內。

2.根據權利要求1所述的一種新型濕法卸片流水板，其特征是：出水板進水孔（10）、出水孔（3）的上部為圓柱型，圓柱型直徑尺寸為3mm，深度尺寸為1mm，下部為120o的錐型。

3.根據權利要求1所述的一種新型濕法卸片流水板，其特征是：出水板（2）上的硅片定位板（4）安插在硅片定位板安插孔（5）內，硅片定位板安插孔（5）在出水板（2）表面底部兩側各有3個。

4.根據權利要求1所述的一種新型濕法卸片流水板，其特征是：硅片定位板（4）底部有定位板安插軸（12）。