[實用新型]磨輪結構及研磨設備有效
| 申請號： | 201420258867.2 | 申請日： | 2014-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN203887678U | 公開（公告）日： | 2014-10-22 |
| 發明（設計）人： | 王賢超 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/11 | 分類號： | B24B37/11;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 結構 研磨 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種磨輪結構，包括輪體和若干間隔排列的研磨齒，所述研磨齒的底部固定于所述輪體上，其特征在于，所述研磨齒的頂面和側面的夾角大于90°。
2.如權利要求1所述的磨輪結構，其特征在于，所述輪體為圓環狀。
3.如權利要求1所述的磨輪結構，其特征在于，相鄰的研磨齒頂部的間距范圍是4mm～5mm。
4.如權利要求3所述的磨輪結構，其特征在于，相鄰的研磨齒底部的間距范圍是3mm～4mm。
5.如權利要求4所述的磨輪結構，其特征在于，所述研磨齒的頂部寬度范圍是16mm～20mm。
6.如權利要求5所述的磨輪結構，其特征在于，所述研磨齒的高度范圍是4mm～6mm。
7.如權利要求1所述的磨輪結構，其特征在于，所述研磨齒的頂面和側面的夾角為93°、95°或100°。
8.如權利要求1所述的磨輪結構，其特征在于，所述研磨齒的個數大于等于10個。
9.如權利要求1所述的磨輪結構，其特征在于，所述若干研磨齒均勻排列。
10.一種研磨設備，其特征在于，包括至少一個如權利要求1至9中任一項所述的磨輪結構。
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