[實用新型]一種硅片清洗機

有效

• 申請號: 201420254600.6
• 申請日: 2014-05-19
• 公開（公告）號: CN203830375U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 李雙江;郭釗
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及硅片生產技術領域，特別涉及一種硅片清洗機。

背景技術

硅片在生產過程中表面可能會存在有機物、無機物等污染雜質，故半導體件生產過程中硅片必須經過嚴格清洗，否則微量污染也會導致器件失效。

其中，硅片清洗機是一種用來清洗硅片表面污漬的自動清洗設備，自動清洗設備的下料臺的工作臺下設置有傳動鏈條，傳動鏈條用于將盛裝硅片的硅片籃移動出工作臺。當硅片籃移動出工作臺之后，機械手會將另一硅片籃放置于下料臺的工作臺的下面。為了避免前一硅片籃未移出，機械手就將下一硅片籃放入，目前采用以下方法。

現有技術中，硅片生產廠家使用的清洗機下料臺處有一組對射傳感器檢測是否有硅片籃，當傳動鏈條將放置硅片的不銹鋼籃移出傳感器對射范圍后設備認為無籃，前一槽位置處的硅片籃就可以繼續由機械臂提起并放置在下料臺處。

然而實際運行中，經常會出現傳送過程中籃卡住或傳送鏈條斷裂的情況，此時載片盒籃已出傳感的檢測位置，但又未完全傳送出放籃空間，此時設備認為下料臺無籃，機械臂會后一硅片籃放置位置吊起載片盒籃繼續放置在下料臺，造成砸籃事故，硅片大量破損，造成生產損失。

因此，如何提供一種硅片清洗機，該硅片清洗機可以有效防止砸籃現象的發生，是現有技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的為提供一種硅片清洗機，該硅片清洗機可以有效防止砸籃現象的發生。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種硅片清洗機，包括下料臺，設置于所述下料臺的工作臺面下的傳送鏈條，所述傳送鏈條用于傳送硅片籃，所述下料臺對應所述硅片籃工作位置處設置有至少兩個檢測開關，兩檢測開關沿所述傳送鏈條的傳動方向并行設置；所述硅片清洗機還包括根據各所述檢測開關中任一者檢測到所述硅片籃的信號，發出停止機械手放下一硅片籃動作的控制器。

優選地，所述檢測開關的數量為兩個，分別為第一檢測開關和第二檢測開關，所述第一檢測開關靠近所述硅片籃工作位置的中間位置，所述第二檢測開關靠近所述硅片籃工作位置的尾端。

優選地，所述第一檢測開關和所述第二檢測開關均為由兩個傳感器組成的一組對射傳感器，各所述對射傳感器中的兩個傳感器分居于所述工作臺的兩側。

優選地，所述控制器為所述硅片清洗機的可編程控制器，所述第一檢測開關和所述第二檢測開關的信號輸出端分別通過信號線連接所述硅片清洗機的可編程控制器接收端口。

優選地，還包括檢測開關安裝座，用于將各監測開關固定于所述下料臺，所述檢測開關安裝座包括圍成一腔體的頂壁、底壁以及兩側壁，所述檢測開關設于所述腔體內。

優選地，兩所述側壁均具有向外的折彎部，所述折彎部低于所述底壁的高度；所述折彎部固定連接所述下料臺。

優選地，所述折彎部上設置有螺栓孔，所述折彎部通過穿過所述螺栓孔的螺栓固定連接所述下料臺。

當各檢測開關均將各檢測信號發送給控制器，控制器對各信號進行分析、判斷，當判斷各檢測信號中的任一者檢測到硅片籃時，便發送停止機械手放下一硅片籃的控制指令于機械手，機械手便會停止向下料臺處放硅片籃，避免了砸籃現象的發生。當然，當控制器判斷各檢測信號均未檢測到硅片籃時，便發送機械手放下一硅片籃的控制指令于機械手，機械手繼續放置硅片籃于下料臺下放的相應位置。

這樣，根據機械手的工作狀態，操作人員也可以了解處于下料臺處的硅片籃是否出現問題。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施例中硅片清洗機的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種實施例中檢測開關安裝座的結構示意圖。

其中，圖1-2中附圖標記和部件名稱之間的一一對應關系如下所示：

1下料臺、2檢測開關、3傳送鏈條、4硅片籃、5螺釘、6檢測開關安裝座、61頂壁、62底壁、63側壁、631折彎部、631a螺栓孔。

具體實施方式

本實用新型的核心為提供一種硅片清洗機，該硅片清洗機可以有效防止砸籃現象的發生。

為了使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。

請參考圖1，圖1為本實用新型一種實施例中硅片清洗機的結構示意圖。

本實用新型提供了一種硅片清洗機，包括下料臺1，設置于下料臺1的工作臺面下的傳送鏈條3，傳送鏈條3用于傳送硅片籃4，本實用新型中的硅片清洗機中的下料臺1對應硅片籃4工作位置處設置有至少兩個檢測開關2，兩檢測開關2沿傳送鏈條3的傳動方向并行設置。