[實用新型]真空鍍膜機可拆卸PlASMA電極

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420248470.5
• 申請日: 2014-05-15
• 公開（公告）號: CN203846093U
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李龍哲;夏偉;朱小鳳;孫海澄;周征華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海哈吶機電設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

?本實用新型涉及的是一種可拆卸式PLASMA電極,具體涉及一種真空鍍膜機可拆卸PlASMA電極。

背景技術(shù)

真空鍍膜機用于在真空條件下，通過中頻電源產(chǎn)生的電弧環(huán)境下HMDSO（硅油）和氬氣在幾千伏的高電壓下反應(yīng)成硅膠，并附著在前工序鍍好的金屬膜上起到防止氧化作用。傳統(tǒng)的真空鍍膜機采用的電極結(jié)構(gòu)如圖1所示，電極D上固定有陶瓷A和陶瓷B，?陶瓷A和陶瓷B之間設(shè)置有O型圈C，此種電極結(jié)構(gòu)不可拆卸，一旦損壞，需要更換整個部件，大大增加了成本，而且絕緣效果差，使用很不方便。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)上存在的不足，本實用新型目的是在于提供一種真空鍍膜機可拆卸PlASMA電極，延長電極使用壽命。此結(jié)構(gòu)因電極在后部不會污染，節(jié)約成本更好的絕緣效果。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：真空鍍膜機可拆卸PlASMA電極，包括第一絕緣陶瓷、第二絕緣陶瓷、可調(diào)節(jié)式電極軸、第一O型氟橡膠密封圈、O型保護套、第二O型氟橡膠密封圈，可調(diào)節(jié)式電極軸上設(shè)置有第一絕緣陶瓷、第二絕緣陶瓷，第一絕緣陶瓷外側(cè)分別設(shè)置有第一O型氟橡膠密封圈和第二O型氟橡膠密封圈，第一O型氟橡膠密封圈與第一絕緣陶瓷配合，第二O型氟橡膠密封圈與O型保護套相配合，O型保護套右側(cè)設(shè)置有第二絕緣陶瓷。

根據(jù)上述的真空鍍膜機可拆卸PlASMA電極，其中，所述的第二絕緣陶瓷外設(shè)置有防塵保護套。

本實用新型的有益效果：可拆卸式PLASMA電極，可以單獨拆卸后清掃，可以隨意更改距離，無需整體更換，如果有部件損壞可以單獨更換，節(jié)約成本,更好的絕緣效果。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施方式來詳細說明本實用新型；

????圖1為傳統(tǒng)的真空鍍膜機的電極結(jié)構(gòu)示意圖；

????圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。

參照圖2，本具體實施方式采用以下技術(shù)方案：真空鍍膜機可拆卸PlASMA電極，包括第一絕緣陶瓷1、第二絕緣陶瓷2、可調(diào)節(jié)式電極軸4、第一O型氟橡膠密封圈5、O型保護套6、第二O型氟橡膠密封圈7，可調(diào)節(jié)式電極軸4上設(shè)置有第一絕緣陶瓷1、第二絕緣陶瓷2，第一絕緣陶瓷1外側(cè)分別設(shè)置有第一O型氟橡膠密封圈5和第二O型氟橡膠密封圈7，第一O型氟橡膠密封圈5與第一絕緣陶瓷1配合，第二O型氟橡膠密封圈7與O型保護套6相配合，O型保護套6右側(cè)設(shè)置有第二絕緣陶瓷2。

值得注意的是，所述的第二絕緣陶瓷2外設(shè)置有防塵保護套3。

本具體實施方式的可拆卸式PLASMA電極，可以單獨拆卸后清掃，可以隨意更改距離，無需整體更換，如果有部件損壞可以單獨更換，節(jié)約成本,更好的絕緣效果。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。