[實用新型]一種半導體立式熱處理設備的工藝管排氣裝置

有效

• 申請號: 201420243244.8
• 申請日: 2014-05-13
• 公開（公告）號: CN203859104U
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 徐冬;宋新豐
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/324
• 分類號: H01L21/324
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種半導體立式熱處理設備的工藝管排氣裝置，包括半導體立式熱處理設備工藝管的排氣口，連接排氣口的排氣管，所述排氣管通過排氣管路連接至尾氣冷卻裝置，所述排氣口與所述排氣管的連接處設有密封圈，其特征在于，所述排氣口與所述排氣管采用法蘭相對接，排氣口側法蘭與排氣管側法蘭的法蘭連接面之間具有一定間隙，所述法蘭連接面之間通過環繞法蘭圓周設置的密封圈相密封；二側法蘭中的其中一側法蘭的連接面位于所述密封圈與法蘭內壁之間處設有吹氣口，所述吹氣口連通該側法蘭本體內的吹氣腔道，所述吹氣腔道設有通向該側法蘭本體外的吹氣進氣口；所述二側法蘭通過夾緊調節機構相固連；其中，可由所述吹氣進氣口吹入不同的冷卻吹掃氣體，經由所述吹氣腔道、所述吹氣口進入所述二側法蘭連接面之間的所述間隙，并由所述間隙進入所述法蘭內壁，沿所述排氣管通過所述排氣管路排向所述尾氣冷卻裝置。

2.如權利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述二側法蘭位于所述密封圈與所述法蘭內壁之間靠近所述法蘭內壁的連接面處具有環繞法蘭圓周設置的相配合的凹凸轉折面結構，所形成的所述凹凸轉折面之間具有一定間隙。

3.如權利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述二側法蘭中的其中一側法蘭的連接面位于所述密封圈與所述吹氣口之間處環繞法蘭圓周設有一圈凸起的隔檔。

4.如權利要求3所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述隔檔的頂端與其相對側法蘭的連接面之間具有一定間隙。

5.如權利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述吹氣口在所述二側法蘭中的其中一側法蘭的連接面環繞法蘭圓周均勻設置多個，所述吹氣口連通該側法蘭本體內環繞法蘭圓周設置的吹氣腔道。

6.如權利要求3所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述隔檔與所述吹氣口設于同一側所述法蘭的連接面處。

7.如權利要求3所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述隔檔與所述吹氣口分別設于二側所述法蘭的連接面處。

8.如權利要求1所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述夾緊調節機構包括二個相對設置的夾板，所述二個夾板通過相配合的調節螺釘和螺母相固連，所述二個夾板將所述排氣口側法蘭與所述排氣管側法蘭夾持在其間，并通過所述二個夾板上設置的相配合的所述調節螺釘和螺母進行固定；所述二個夾板具有通過所述排氣口與所述排氣管的開口結構。

9.如權利要求8所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，相配合的所述調節螺釘和螺母的數量為4個，分設于所述二個夾板的四個角部，所述調節螺釘上套有壓縮彈簧；其中，通過所述螺母的旋轉，使所述壓縮彈簧具有不同的壓緊力，來調整所述二個夾板所夾持的所述排氣口側法蘭與所述排氣管側法蘭連接面之間的間隙量。

10.如權利要求8或9所述的工藝管排氣裝置，其特征在于，所述二個夾板將所述排氣口側法蘭與所述排氣管側法蘭夾持在其間，二個所述夾板與其所夾持的相應側法蘭之間設有柔性墊片。