[實用新型]離子注入檢測系統以及離子注入機

有效

• 申請號: 201420241875.6
• 申請日: 2014-05-12
• 公開（公告）號: CN203812850U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 盧合強;王振輝;王穎芳;高國珺;張明明;張義彩
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/244
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種離子注入檢測系統，用于檢測離子注入機的離子束，其特征在于，所述離子注入機包括掃描盤，所述掃描盤內包括至少一用于放置晶圓的晶圓區，所述離子注入檢測系統包括：

至少一將所述離子束轉化為電流的法拉第杯，位于所述離子注入機內并與所述掃描盤同步運動，并接受所述離子束；以及

電流測量單元，與所述法拉第杯連接，所述電流測量單元接收所述法拉第杯的電流信號。

2.如權利要求1所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述離子束在所述離子注入機內傳播，與所述掃描盤的相對移動形成離子束掃描區域，所述離子束掃描區域包括注入區域，所述注入區域內的離子束注入所述晶圓區，所述法拉第杯位于所述注入區域外的所述離子束掃描區域內。

3.如權利要求1所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述法拉第杯包括杯身、杯底以及一用于所述離子束注入的杯口，所述杯口的方向與所述掃描盤的方向相同，所述杯底與所述掃描盤相平行。

4.如權利要求3所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述杯底為離子束感應板。

5.如權利要求3所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述杯底為方形。

6.如權利要求5所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述杯底的寬度為1mm～20mm，所述杯底的長度為0.1mm～200mm。

7.如權利要求3所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述杯身的高度為2mm～200mm。

8.如權利要求1-7中任意一項所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述離子束掃描區域與所述掃描盤所在的平面形成掃描面，所述掃描面包括第一方向以及第二方向，所述第一方向與第二方向相垂直，所述離子束在所述第一方向具有第一方向寬度，所述離子束在所述第二方向進行掃描，所述離子束在第三方向傳播，所述第三方向與所述掃描面相垂直。

9.如權利要求8所述的離子注入檢測系統，其特征在于，每一所述離子束掃描區域內設置兩個所述法拉第杯。

10.如權利要求8所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述第一方向寬度大于等于所述晶圓區的直徑。

11.如權利要求1-7中任意一項所述的離子注入檢測系統，其特征在于，所述法拉第杯與所述掃描盤固定連接。

12.一種離子注入機，其特征在于，包括如權利要求1-11中任意一項所述的離子注入檢測系統。