[實(shí)用新型]一種高純氬氣的提純系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420239140.X | 申請(qǐng)日： | 2014-05-09 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203833614U | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-09-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張樹(shù)銀 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 南通天源氣體有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C01B23/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 226002 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高純 提純 系統(tǒng) | ||
1.一種高純氬氣的提純系統(tǒng)，包括氣源儲(chǔ)存裝置(1)、提純裝置(2)以及用于連通氣源儲(chǔ)存裝置(1)和提純裝置(2)并將提純后的高純度氬氣進(jìn)行輸送的輸氣管路(3)，其特征在于：所述提純裝置(2)包括沿著氬氣的輸出走向依次設(shè)置的一級(jí)提純裝置(21)和二級(jí)提純裝置(22)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統(tǒng)，其特征在于：所述一級(jí)提純裝置(21)包括設(shè)置在氣源儲(chǔ)存裝置(1)后方，并沿著氬氣的輸出走向依次連接的脫氧塔(211)、分子篩(212)、凈化爐(213)以及過(guò)濾器(214)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統(tǒng)，其特征在于：所述二級(jí)提純裝置(22)為設(shè)置于一級(jí)提純裝置(21)的后方，并與氬氣總輸出管路(31)相連接的吸氣劑提純裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統(tǒng)，其特征在于：所述一級(jí)提純裝置(21)和二級(jí)提純裝置(22)之間設(shè)有加熱裝置(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高純氬氣的提純系統(tǒng)，其特征在于：所述吸氣劑提純裝置為內(nèi)含吸氣劑的吸氣劑凈化爐(221)。
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