[實用新型]測試探針臺有效
| 申請號： | 201420235134.7 | 申請日： | 2014-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN203811645U | 公開（公告）日： | 2014-09-03 |
| 發明（設計）人： | 張程 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試 探針 | ||
【權利要求書】：
1.一種測試探針臺，其特征在于，包括承載臺以及兩個探針卡，所述承載臺的上表面和下表面均固定有晶圓，所述探針卡分別位于所述承載臺的兩側，以對所述承載臺上表面和下表面固定的晶圓進行測試。
2.如權利要求1所述的測試探針臺，其特征在于，所述承載臺的下表面上設置有多個吸附孔。
3.如權利要求2所述的測試探針臺，其特征在于，所述多個吸附孔均勻分布于所述承載臺的下表面。
4.如權利要求3所述的測試探針臺，其特征在于，所述承載臺通過通氣管道與真空抽氣系統以及導氣系統相連接。
5.如權利要求1所述的測試探針臺，其特征在于，所述承載臺側面的邊緣設置有固定裝置，以固定所述承載臺下表面的晶圓。
6.如權利要求5所述的測試探針臺，其特征在于，所述固定裝置包括相互連接的固定部與夾持部，所述固定部位于所述承載臺的側面，所述夾持部夾持在所述承載臺下表面的晶圓上。
7.如權利要求6所述的測試探針臺，其特征在于，所述承載臺上的固定裝置的個數大于等于3個。
8.如權利要求7所述的測試探針臺，其特征在于，所述承載臺上設置有四個固定裝置。
9.如權利要求8所述的測試探針臺，其特征在于，所述四個固定裝置夾持在晶圓上的位置各相隔90度。
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