[實用新型]撥扣裝置

有效

• 申請號: 201420234763.8
• 申請日: 2014-05-08
• 公開（公告）號: CN203812858U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 吳遠征;曹效鋮;李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種撥扣裝置，其特征在于，包括：

固定部；

拉動部，所述拉動部與所述固定部滑動連接；以及

多個撥扣爪，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設置有爪頭。

2.如權利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述撥扣裝置還包括吸盤，所述吸盤連接所述固定部的一端。

3.如權利要求2所述的撥扣裝置，其特征在于，所述撥扣裝置還包括泄壓閥，所述泄壓閥包括壓力腔、閥芯組件、泄壓軸、用于所述閥芯組件復位的復位裝置以及泄壓口，所述閥芯組件和所述復位裝置分別設置于所述壓力腔內，所述壓力腔的一端與所述吸盤連通，所述泄壓軸的一端與所述閥芯組件相連，所述泄壓軸的另一端從所述壓力腔的另一端伸出，所述泄壓口與所述壓力腔相連通。

4.如權利要求3所述的撥扣裝置，其特征在于，所述泄壓軸還包括按壓部，所述按壓部位于所述壓力腔外，所述拉動部還包括用于按壓所述按壓部的擋片。

5.如權利要求3所述的撥扣裝置，其特征在于，所述壓力腔位于所述固定部內。

6.如權利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述拉動部的形狀為棒狀，所述固定部的形狀為環狀，所述固定部嵌套在所述拉動部外。

7.如權利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述拉動部還包括撥扣爪固定部，所述撥扣爪的一端通過所述撥扣爪固定部與所述拉動部連接。

8.如權利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述拉動部包括一拉動長度調節部。

9.如權利要求1至8中任意一項所述的撥扣裝置，其特征在于，所述撥扣裝置還包括多個連動元件，每一所述連動元件對應一個所述撥扣爪；

所述固定部上具有多個第一連接區，每一所述連動元件的一端連接一個所述第一連接區；

每一所述撥扣爪具有一第二連接區，所述連動元件的另一端連接所述第二連接區。

10.如權利要求9所述的撥扣裝置，其特征在于，所述第一連接區為多個選擇連接點，所述第二連接區為滑動連接機構；或所述第二連接區為多個選擇連接點，所述第一連接區為滑動連接機構。

11.如權利要求9所述的撥扣裝置，其特征在于，所述連動元件包括一連動長度調節部。