[實用新型]一種基于PDMS壓阻和不銹鋼電容的耐蝕壓力傳感器

有效

• 申請號: 201420231416.X
• 申請日: 2014-05-07
• 公開（公告）號: CN203940939U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 余建平;張玉良;鄧小雷;李欣;周兆忠
• 申請（專利權）人: 衢州學院
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L1/14
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種基于PDMS壓阻和不銹鋼電容的耐蝕壓力傳感器，其特征在于：該傳感器由耐蝕殼體(1)，安裝在耐蝕殼體(1)內的PDMS壓阻傳感單元(2)和不銹鋼電容傳感單元(3)組合而成；其中：

1)?耐蝕殼體(1)：包括中空的螺栓頭(4)、不銹鋼隔膜(5)、封蓋(6)和螺母(7)依次裝配成一個密閉的腔體；

2)?PDMS壓阻傳感單元(2)：從下至上依次由絕緣膜(8)、PDMS壓阻層(9)和下表面具有檢測電極(13)的惰性橡膠上電極襯底(10)組成；PDMS壓阻傳感單元(2)的絕緣膜(8)安裝在耐蝕殼體(1)的不銹鋼隔膜(5)上；

3)?不銹鋼電容傳感單元(3)：從下至上依次由中心開孔的不銹鋼薄膜極板(14)和后盾基板(15)組成；不銹鋼電容傳感單元(3)的不銹鋼薄膜極板(14)安裝在PDMS壓阻傳感單元(2)的惰性橡膠上電極襯底(10)上，耐蝕殼體(1)的封蓋(6)下底面安裝在不銹鋼電容傳感單元(3)的后盾基板(15)上。

2.根據權利要求1所述的一種基于PDMS壓阻和不銹鋼電容的耐蝕壓力傳感器，其特征在于：所述PDMS壓阻層(9)中心具有四片PDMS力敏感構件(12)，均呈75°的扇形，圍成一個直徑為3?mm的圓環；四片PDMS力敏感構件(12)為并聯結構且通過電氣回路(11)相互連接；惰性橡膠上電極襯底(10)下表面檢測電極(13)的中心輸入端T₀和四周的輸出端T₁~T₄的電路與四片PDMS力敏感構件(12)構成四個壓阻單元，形成并聯回路。

3.根據權利要求1所述的一種基于PDMS壓阻和不銹鋼電容的耐蝕壓力傳感器，其特征在于：所述中心開孔的不銹鋼薄膜極板(14)作為不銹鋼電容傳感單元(3)的下極板，直徑為10mm，薄膜極板厚度為100μm，中心開孔直徑為5mm，中心開孔的深度為20μm。

4.根據權利要求1所述的一種基于PDMS壓阻和不銹鋼電容的耐蝕壓力傳感器，其特征在于：所述后盾基板(15)作為不銹鋼電容傳感單元(3)的上極板，由在超高硬度的碳化鎢襯底(17)下表面涂覆絕緣層(16)加工而成，絕緣層(16)朝向中心開孔的不銹鋼薄膜極板(14)一側。