[實(shí)用新型]波長(zhǎng)片消光曲線測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420231346.8
• 申請(qǐng)日: 2014-05-07
• 公開（公告）號(hào): CN203798542U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭連生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海聯(lián)能光子技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 上海開祺知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31114
• 代理人: 李蘭英

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種消光曲線測(cè)量裝置，具體的是涉及一種波長(zhǎng)片消光曲線測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

波長(zhǎng)片(簡(jiǎn)稱波片)作為光學(xué)相位延遲器件是現(xiàn)代偏振光學(xué)和激光應(yīng)用技術(shù)中應(yīng)用的最為廣泛的器件之一。而作為波長(zhǎng)片所要求的質(zhì)量很高。如要求平行度誤差在1-2″的范圍內(nèi)，厚度的公差＜0.3微米。這就要求在制作加工時(shí)，嚴(yán)格地控制其加工厚度。為了測(cè)量波長(zhǎng)片的相位延遲特性，以此在加工時(shí)，控制波長(zhǎng)片的加工厚度，需要較精密的測(cè)量裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種波長(zhǎng)片消光曲線測(cè)量裝置，可較精密地測(cè)量波長(zhǎng)片的相位延遲特性，并以此控制其加工厚度，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便等特點(diǎn)。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

一種波長(zhǎng)片消光曲線測(cè)量裝置，它包括暗箱，置于暗箱內(nèi)的光源，在暗箱內(nèi)，在光源發(fā)射光束前進(jìn)的方向上依次置有起偏器，置放待測(cè)波長(zhǎng)片的中心帶有轉(zhuǎn)臺(tái)通光孔的旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)，檢偏器，置放檢偏器的中心帶有轉(zhuǎn)架通光孔的旋轉(zhuǎn)支架，接收器，置于暗箱外的輸入端與接收器輸出端相連接的信號(hào)處理器。

進(jìn)一步，所述接收器是光電接收器。

又，所述信號(hào)處理器是計(jì)算機(jī)。

另外，本實(shí)用新型所述信號(hào)處理器是計(jì)算機(jī)及連接的打印機(jī)。

如上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，開始測(cè)量時(shí)，調(diào)節(jié)檢偏器的旋轉(zhuǎn)支架使檢偏器與起偏器的偏振軸調(diào)至平行狀態(tài)，此時(shí)，信號(hào)處理器從接收器的輸出接收到光譜透過的最大值。假如，選用的測(cè)量光譜(光源發(fā)射光譜)是1064nm，待測(cè)波長(zhǎng)片是1064nm1/2波長(zhǎng)片，當(dāng)待測(cè)波長(zhǎng)片置放在旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)上，旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)使光譜透過達(dá)到最小值(上述操作過程均在暗箱內(nèi)進(jìn)行)。則在信號(hào)處理器上可以掃描出一組消光曲線。在該消光曲線上可找到測(cè)量點(diǎn)。因?yàn)樯鲜鲞x用的測(cè)量光譜是1064nm，所以，只有1064nm這個(gè)消光點(diǎn)是測(cè)量點(diǎn)。如果消光曲線的低谷落在1065nm的位置上，說明待測(cè)波長(zhǎng)片的精度誤差為1nm。它的延遲精度為1/1064。通常對(duì)于λ/300(λ為1個(gè)波長(zhǎng))的延遲精度，只允許有3nm。如果，超出這個(gè)誤差，就要繼續(xù)對(duì)待測(cè)波長(zhǎng)片進(jìn)行研磨，直到合格為止。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

如上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便。因?yàn)椴僮鞣奖?，所以能夠在加工波長(zhǎng)片時(shí)，在線測(cè)量該波長(zhǎng)片的消光曲線，也就能夠在線控制加工波長(zhǎng)片的厚度。如上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)能夠測(cè)量多種波長(zhǎng)片的消光曲線，如全波長(zhǎng)片、1/4波長(zhǎng)片、1/2波長(zhǎng)片的消光曲線。因此，也就能夠以測(cè)得的這些波長(zhǎng)片的消光曲線控制所有這些波長(zhǎng)片的加工厚度。測(cè)量誤差＜0.001nm。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型波長(zhǎng)片消光曲線測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型消光曲線測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)特征。

如圖1所示，本實(shí)用新型的消光曲線測(cè)量裝置，它包括暗箱11，置于暗箱11內(nèi)的光源1，在暗箱11內(nèi)，在光源1發(fā)射光束前進(jìn)的方向上依次置有起偏器2，置放待測(cè)波長(zhǎng)片3的中心帶有轉(zhuǎn)臺(tái)通光孔10的旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)4，檢偏器5，置放檢偏器5的中心帶有轉(zhuǎn)架通光孔9的旋轉(zhuǎn)支架6，接收器7，置于暗箱11外的輸入端與接收器7輸出端相連接的信號(hào)處理器8。

所述接收器7是光電接收器。在本實(shí)施例中，所述接收器7接收的波長(zhǎng)為193nm-2500nm。

所述信號(hào)處理器8是計(jì)算機(jī)?；蛘咚鲂盘?hào)處理器8是計(jì)算機(jī)及連接的打印機(jī)。