[實(shí)用新型]用于接收至少一個(gè)太陽(yáng)能電池印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺(tái)和包括該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420231247.X
• 申請(qǐng)日: 2014-05-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204045612U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·吉斯隆
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料意大利有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 高見(jiàn)

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)的實(shí)施例涉及如用于在太陽(yáng)能電池晶片上印刷電極的沉積系統(tǒng)中使用的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，且特別地涉及如用于在太陽(yáng)能電池晶片上印刷電極的屏幕沉積系統(tǒng)中使用的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。特別地，本公開(kāi)的實(shí)施例涉及一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)被配置成旋轉(zhuǎn)且由此沿著如由旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)界定的軌道輸送太陽(yáng)能電池晶片。此外，本公開(kāi)涉及包括所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)。?

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池裝置是將太陽(yáng)光轉(zhuǎn)換成為電力的光生伏打(photovoltaic；PV)裝置。也可在本文中僅被稱(chēng)為“太陽(yáng)能電池”或“電池”的典型太陽(yáng)能電池裝置包括也可在本文中稱(chēng)為晶片的基板。晶片通常是由硅制成。晶片可設(shè)置有形成在所述晶片中的一個(gè)或多個(gè)p-n結(jié)或p-i-n結(jié)。每一p-n結(jié)具有p型區(qū)和n型區(qū)。當(dāng)p-n結(jié)暴露于太陽(yáng)光時(shí)，太陽(yáng)光通過(guò)PV效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電力。大量的太陽(yáng)能電池通常被組裝在一起以形成面板或，同義地，模塊。面板被例如安裝在外殼頂部等之上。?

太陽(yáng)能電池通常是由硅基板形成，所述硅基板可為單晶硅基板或多晶硅基板。硅基板可具有在前側(cè)上的n型硅薄層，和在背側(cè)上形成的p型區(qū)域。或者，硅基板可具有在前側(cè)上的p型硅薄層，和在背側(cè)上形成的n型區(qū)域(所謂的“n型晶片”)。電極被沉積在太陽(yáng)能電池晶片上，所述電極傳導(dǎo)由入射光產(chǎn)生的電流。還可提供諸如在前側(cè)上的抗反射層，或在背側(cè)上的反射層之類(lèi)的附加層。?

已知太陽(yáng)能電池生產(chǎn)包括使用傳送帶，所述傳送帶將未處理的或部分處理的晶片輸送到各種處理站，所述處理站諸如清洗站、注入站、沉積(例如，印刷)站，或裝箱站。由于各種原因，在生產(chǎn)過(guò)程中包括一個(gè)或多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)可能是有用的。?

參看圖1，以示意頂視圖圖示如在本技術(shù)中已知的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。旋轉(zhuǎn)臺(tái)130被配置成包括四個(gè)印刷巢131。每一印刷巢131被配置成接收太陽(yáng)能電池晶片。旋轉(zhuǎn)臺(tái)可被旋轉(zhuǎn)以?根據(jù)順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)移動(dòng)位于印刷巢131上的太陽(yáng)能電池晶片。為了進(jìn)行此旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)必須加速到最大旋轉(zhuǎn)速度且隨后再減速運(yùn)動(dòng)以再次停止工作臺(tái)。?

太陽(yáng)能電池生產(chǎn)行業(yè)經(jīng)受巨大價(jià)格壓力。對(duì)于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)系統(tǒng)，一個(gè)基本特征數(shù)目是按由每小時(shí)生產(chǎn)的太陽(yáng)能電池的數(shù)目所量度的產(chǎn)量。為了最大化此數(shù)目，必須最優(yōu)化太陽(yáng)能電池生產(chǎn)期間的每一步驟。特別地，給定某一質(zhì)量，必須最小化每一工藝步驟和每一輸送步驟。?

如由本公開(kāi)的發(fā)明者所發(fā)現(xiàn)，原來(lái)仍可最優(yōu)化當(dāng)前的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)。?

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上文，本公開(kāi)提供以下內(nèi)容。?

根據(jù)本公開(kāi)的一方面，提供了用于接收至少一個(gè)太陽(yáng)能電池印刷巢的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。旋轉(zhuǎn)臺(tái)具備慣性降低區(qū)域。?

特別地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)可具有非圓形的圓周。通常，可在旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外圓周中提供一個(gè)或多個(gè)凹槽。另外地或替代地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)可在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)中具有至少一個(gè)切口(cut-out)。另外地或替代地，可提供具有減少的厚度的區(qū)域。?

根據(jù)本公開(kāi)的進(jìn)一步方面，提供了太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)。太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)包括如本文所述的至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)。?

特別地，如本文所述的太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)可具有至少一個(gè)印刷站，用于在太陽(yáng)能電池晶片上印刷電極。?

進(jìn)一步實(shí)施例、方面、細(xì)節(jié)和優(yōu)點(diǎn)根據(jù)附屬權(quán)利要求、描述和附圖將進(jìn)一步顯現(xiàn)。?

附圖說(shuō)明

因此，以可詳細(xì)地理解本公開(kāi)的上述特征的方式，可參考實(shí)施例獲得上文簡(jiǎn)要概述的本公開(kāi)的更特定描述。附圖涉及本公開(kāi)的實(shí)施例且描述如下：?

圖1圖示如本技術(shù)中已知的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的示意圖。?

圖2圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)的示意透視圖。?

圖3圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的太陽(yáng)能電池處理系統(tǒng)的示意頂視圖。?

圖4至圖8圖示根據(jù)本公開(kāi)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的實(shí)施例的示意圖，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有位于所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的圓周中的凹槽。?

圖9圖示根據(jù)本公開(kāi)的包括若干切口的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的實(shí)施例的示意圖。?

圖10至圖11圖示根據(jù)本公開(kāi)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的實(shí)施例的示意圖，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的圓周中的凹槽且具有在旋轉(zhuǎn)臺(tái)中的切口。?

圖12圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的示意剖視圖。?

具體實(shí)施方式