[實用新型]一種電熔絲結構有效
| 申請號： | 201420226039.0 | 申請日： | 2014-05-05 |
| 公開（公告）號： | CN203826373U | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發明（設計）人： | 甘正浩 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/525 | 分類號： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 李儀萍 |
| 地址： | 100176 北京市大興區大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電熔絲 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種電熔絲結構，其特征在于，所述電熔絲結構至少包括：第一端子、第二端子以及連接所述第一端子和第二端子的互連結構；所述第一端子和所述第二端子上至少設置有一個接近于所述互連結構且垂直于所述互連結構的長條形接觸電極。
2.根據權利要求1所述的電熔絲結構，其特征在于：所述長條形接觸電極的長度不小于所述互連結構的寬度。
3.根據權利要求2所述的電熔絲結構，其特征在于：所述長條形接觸電極的長度設定為100nm～1000nm。
4.根據權利要求3所述的電熔絲結構，其特征在于：所述互連結構的寬度設定為50nm～250nm。
5.根據權利要求1所述的電熔絲結構，其特征在于：所述長條形接觸電極到所述互連結構的距離設定為10nm～200nm。
6.根據權利要求1所述的電熔絲結構，其特征在于：所述第一端子及所述第二端子上的接觸電極在所述互連結構的長度方向上對稱設置。
7.根據權利要求1所述的電熔絲結構，其特征在于：所述第一端子為陽極端，第二端子為陰極端。
8.根據權利要求1所述的電熔絲結構，其特征在于：所述第一端子的尺寸小于所述第二端子的尺寸。
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