[實用新型]一種雙面曝光裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420218773.2 | 申請日: | 2014-04-30 |
| 公開(公告)號: | CN203930327U | 公開(公告)日: | 2014-11-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 劉維軍;郭寶貴 | 申請(專利權)人: | 遂寧市維海電子科技有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
| 地址: | 629000 四川省遂*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙面 曝光 裝置 | ||
1.一種雙面曝光裝置,其特征在于:它包括上層裝載框架(1)、下層裝載框架(19)、以及依次連接為一體的曝光箱(2)和裝載箱(3),曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設置有用于安裝上層裝載框架(1)的上層水平導軌,曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設置有用于安裝下層裝載框架(19)的下層水平導軌,曝光箱(2)位于上層水平導軌的上側和下層水平導軌的下側均設置有曝光光源(6),所述的上層裝載框架(1)和下層裝載框架(19)結構相同,上層裝載框架(1)和下層裝載框架(19)均包括上框架(17)和下框架(18),上框架(17)和下框架(18)通過設置于后側面上的合頁(7)連接為一體,上框架(17)的底面上設置有上透光板(8),下框架(18)的頂面上設置有容置上框架(17)的凹槽(9),該凹槽(9)的底面上設置有下透光板(10),下框架(18)內(nèi)部設置有抽真空通道,下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之間的部分上設置有抽真空氣孔(11),下框架(18)上還設置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭(12),抽真空接頭(12)通過抽真空通道與抽真空氣孔(11)連通,所述的下框架(18)的左右兩側均設置有水平凸棱(13),上層裝載框架(1)的水平凸棱(13)滑動安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的上層水平導軌內(nèi),下層裝載框架(19)的水平凸棱(13)滑動安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的上層水平導軌內(nèi)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種雙面曝光裝置,其特征在于:所述的上層裝載框架(1)和下層裝載框架(19)的上框架(17)的前端面上均安裝有把手(14)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種雙面曝光裝置,其特征在于:所述的上層裝載框架(1)和下層裝載框架(19)的上框架(17)的前端面設置有凸塊(15),下框架(18)上設置有與凸塊(15)相配合的缺口(16),凸塊(15)的前端面與下框架(18)的前端面相平齊,把手(14)安裝于凸塊(15)的前端面上。
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