[實用新型]用于臥式外點火裝置的定位裝置

有效

• 申請號: 201420211731.6
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN203949211U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 譚瑞雷;董金衛
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F23Q13/00
• 分類號: F23Q13/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本實用新型涉及集成電路制造技術領域，特別涉及一種用于熱處理設備的臥式外點火裝置的定位裝置。

背景技術

在半導體立式熱處理設備中，有一個外點火裝置與工藝腔室相連，工藝氣體從外點火裝置中的進氣管進入主工藝腔室，外點火裝置中有加熱器將工藝氣體加熱以及進行一定的反應，外點火裝置的腔室與工藝腔室通過過渡管相連。

圖1是現有立式工藝腔室與臥式外點火裝置的連接示意圖，如圖1所示，主工藝腔室21與外點火裝置22通過石英法蘭連接部25相連，外點火裝置22內具有外點火腔室26，外點火腔室26固定在圓環狀加熱器23之中，加熱器23固定在環狀水冷卻裝置24之中。

熱處理設備在工作過程中，工藝腔室21和外點火腔室26要保證密封，這樣在石英法蘭連接部25處就要有密封圈進行密封，并且要保證兩處的石英法蘭定位精度大，安裝準確，保證安裝順利以及密封的條件。由于石英材料為脆性材料，不能承受較大變形，因此需要一個定位裝置來移動外點火腔室26以達到良好的定位精度，確保順利安裝以及密封。

基于不同結構的外點火裝置也有不同的定位裝置，目前，基于臥式外點火裝置的臥式定位裝置，是采用驅動塊與驅動軸的方式，實現空間三個方向上的移動調節以及定位。然而，現有裝置結構復雜，安裝、拆卸和調節過程都很不方便。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述技術問題，而提供一種臥式外點火裝置的定位裝置，用以實現臥式外點火裝置的精確定位。

本實用新型提供的用于臥式外點火裝置的定位裝置，其包括：

圓柱件，可轉動地安裝于外點火裝置底部；

長桿，安裝于圓柱件上并可以圓柱件為軸轉動；

中空桿，套接于長桿外，其具有穿入緊固件，用于穿入中空桿以緊固長桿；

底板，與中空桿相固定；

安裝板，用于與外點火裝置的水冷卻裝置相固定；

導向軸，固定于底板并貫穿安裝板，或固定于安裝板并貫穿底板，使安裝板沿著導向軸上下位移；

調節螺柱，固定于底板并抵貼安裝板或水冷卻裝置，或固定于安裝板并抵貼底板或外點火裝置，其抵貼處具有調節螺母，用于調節安裝板與底板的間距。

進一步地，該外點火裝置底部固設有圓柱套筒，該圓柱件可轉動地安裝于該圓柱套筒內。

進一步地，該長桿為長圓桿，該中空桿為中空圓桿，該長圓桿和中空圓桿可以自身為軸轉動。

進一步地，該長圓桿上開設有橫向長槽，該中空圓桿上開設有圓孔，一限位件插入圓孔及橫向長槽以對長圓桿和中空圓桿的相對位移進行限位。

進一步地，該橫向長槽貫穿于長圓桿的前后兩側，該圓孔貫穿于中空圓桿的前后兩側且后側為螺紋孔，該限位件為限位螺桿，其插入圓孔和長圓桿兩側橫向長槽后與螺紋孔螺紋連接固定。

進一步地，該底板或安裝板上設有直線軸承，該導向軸貫穿直線軸承。

進一步地，該導向軸具有至少兩根，其中至少一根導向軸在其貫穿處具有鎖緊螺母，用于固定安裝板與底板的間距。

進一步地，該安裝板和/或底板還設有高度定位塊，一擰緊螺釘插入該高度定位塊及安裝板、或插入該高度定位塊及底板、或插入安裝板和底板各自的高度定位塊，以固定安裝板與底板的間距。

進一步地，該安裝板和底板設有一對高度調節塊和高度定位塊，該高度調節塊上開設有縱向長槽，該高度定位塊上開設有螺紋孔，一擰緊螺釘插入該縱向長槽及螺紋孔以固定安裝板與底板的間距。

進一步地，該圓柱件上固設有角度盤，該角度盤上開設有弧形槽，定位螺釘穿過弧形槽并固定于外點火裝置底部，用于對長桿以圓柱件為軸的轉動限位于該弧形槽范圍內。

進一步地，該外點火裝置底部固設有固定板，該定位螺釘固定于該固定板上。

進一步地，該底板向下設有數個滾輪并抵貼外點火裝置底部。

本實用新型提供的臥式外點火裝置的定位裝置，具有以下技術效果：

1.本實用新型的定位裝置可以讓點火腔室實現旋轉角度、軸向以及高度的調整和定位；

2.本實用新型的定位裝置，通過導向軸、調節螺柱以及鎖緊螺母或擰緊螺釘實現軸向、徑向和高度的定位，定位效果優異；

3.本實用新型的定位裝置，通過長桿上的橫向長槽、高度調節塊上的縱向長槽以及角度盤上的弧形槽，可以從縱向、橫向和旋轉方向的調整范圍給予限定，限位效果優異；

4.本實用新型的定位裝置結構簡單、安裝方便，可以擺出很大角度，實現點火腔室的水平抽取，以滿足裝卸要求。

附圖說明