[實用新型]非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構

有效

• 申請號: 201420208787.6
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN203807146U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 孔延梅;焦斌斌;劉瑞文
• 申請（專利權）人: 昆山光微電子有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 昆山四方專利事務所 32212
• 代理人: 盛建德;張文婷

1.一種非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，包括透明襯底(1)，其特征在于：在所述透明襯底上懸空設置一金屬反光板(11)，該金屬反光板上方依次設置有紅外吸收介質層(12)和黑硅紅外吸收增強層(13)；在所述金屬反光板的左右兩側間隔對稱設置有若干懸臂梁(14)和隔離梁(15)，所述金屬反光板每一側的懸臂梁和隔離梁交錯分布且成對出現，位于最內側的懸臂梁一端與所述紅外吸收介質層連接形成一體，位于兩懸臂梁之間的隔離梁的另一端向內彎折與內側的懸臂梁的另一端連接形成一體且該懸臂梁的一端向外彎折與外側的懸臂梁一端連接形成一體，位于最外側的懸臂梁一端向下彎折連接至所述透明襯底上形成錨爪支撐結構。

2.根據權利要求1所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述懸臂梁為雙材料懸臂梁，該懸臂梁由位于下方的第一層介質層(141)和位于上方的第二層金屬層(142)構成。

3.根據權利要求2所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述隔離梁與所述懸臂梁的第一層介質層連接形成一體。

4.根據權利要求2所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述第一層介質層為氮化硅和氧化硅其中之一種材質制成，所述第二層金屬層為金和鋁其中之一種材質制成。

5.根據權利要求1所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述透明襯底為硼硅酸玻璃和石英其中之一種材質制成。

6.根據權利要求1所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述金屬反光板為金和鋁其中之一種材質制成。

7.根據權利要求1所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述紅外吸收介質層由氮化硅和氧化硅其中之一種材質制成。

8.根據權利要求1所述的非制冷光讀出紅外焦平面陣列結構，其特征在于：所述黑硅紅外吸收增強層是由淀積的硅層經SF6氣體蝕刻形成。