[實用新型]單晶爐加料器及包括其的單晶爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420208312.7 | 申請日: | 2014-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN203668558U | 公開(公告)日: | 2014-06-25 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王峰;韓建超;劉蘇生 | 申請(專利權)人: | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海弼興律師事務所 31283 | 代理人: | 胡美強;楊東明 |
| 地址: | 201617 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐加 料器 包括 單晶爐 | ||
1.一種單晶爐加料器,其特征在于,其包括一料筒、一固設在所述料筒中部的支撐套管、一可活動地穿設在所述支撐套管內(nèi)部的連桿、一設于所述料筒上方且與所述連桿的上端固定連接的配重塊、一用于控制所述配重塊升降的連桿升降系統(tǒng),其中,所述料筒包括自上而下依次相連的一直通部、一漸窄部、一漸寬部,一進料口設于所述直通部的頂端,一出料口設于所述漸寬部的底端,所述連桿的下端固定連接有一傘狀的料托,并且所述料托的上表面與所述漸寬部的內(nèi)表面相貼合,所述支撐套管、所述料托和所述料筒均是由石英材料制成的。
2.如權利要求1所述的單晶爐加料器,其特征在于,所述支撐套管包括一用于套住所述連桿的直管、至少兩層分布于所述直管上部的支撐部,所述支撐部還與所述料筒的內(nèi)壁相連。
3.如權利要求2所述的單晶爐加料器,其特征在于,每一所述支撐部包括環(huán)繞所述直管均勻分布的至少三支撐桿,各所述支撐桿的一端與所述直管的外壁相連,另一端與所述料筒的內(nèi)壁相連。
4.如權利要求1所述的單晶爐加料器,其特征在于,所述單晶爐加料器還包括一環(huán)設于所述料筒的外表面上的法蘭。
5.如權利要求1所述的單晶爐加料器,其特征在于,所述料筒、所述支撐套管、所述連桿與所述料托的中心軸均在同一直線上。
6.如權利要求1所述的單晶爐加料器,其特征在于,所述料托通過一穿設在所述連桿底部的螺栓與所述連桿固定連接。
7.如權利要求6所述的單晶爐加料器,其特征在于,所述螺栓和所述連桿均是由鉬材料制成的。
8.一種單晶爐,其特征在于,所述單晶爐包括一如權利要求1~7中任一項所述的單晶爐加料器,所述單晶爐還包括一爐體、一設于所述爐體內(nèi)的石英坩堝,所述單晶爐加料器設于所述爐體的喉口部位且位于所述石英坩堝的正上方。
9.如權利要求8所述的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐還包括一罩設于所述石英坩堝底部外表面上的石墨坩堝、一設于所述石墨坩堝下部的坩堝升降裝置、一環(huán)設于所述石墨坩堝周圍的加熱器、至少兩設于所述爐體側邊上的排氣管、兩對稱地設于所述加熱器下方的石墨電極。
10.如權利要求9所述的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐還包括一環(huán)設于所述爐體上方的導流罩。
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