[實用新型]用于倒角機的晶圓吸附裝置及包含其的倒角機

有效

• 申請號: 201420207526.2
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN203690273U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 沈輝輝;黃春峰;陳建綱
• 申請（專利權）人: 上海合晶硅材料有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 胡美強;楊東明

1.一種用于倒角機的晶圓吸附裝置，其包括有一硬質的吸盤，其特征在于，所述用于倒角機的晶圓吸附裝置還包括有一圖形識別裝置；

所述吸盤用于吸附晶圓的一面上設置有一陶瓷層；

所述圖形識別裝置對準所述吸盤設置有所述陶瓷層的一面，用于在所述吸盤未搭載晶圓時，對所述陶瓷層上的圖形特征進行辨識。

2.如權利要求1所述的用于倒角機的晶圓吸附裝置，其特征在于，所述陶瓷層包括有一第一顏色層和一第二顏色層，所述第二顏色層設置于所述吸盤上，所述第一顏色層覆蓋于所述第二顏色層上；

所述第二顏色層用于在所述第一顏色層破損后暴露，以便于所述圖形識別裝置進行識別。

3.如權利要求1所述的用于倒角機的晶圓吸附裝置，其特征在于，所述吸盤由不銹鋼制成，所述陶瓷層由氧化鉻制成。

4.如權利要求1所述的用于倒角機的晶圓吸附裝置，其特征在于，所述陶瓷層的厚度為25μm～35μm。

5.一種倒角機，其特征在于，其包括有權利要求1～4所述的用于倒角機的晶圓吸附裝置。