[實用新型]感光性元件、感光性元件卷以及電子部件

有效

• 申請號: 201420202700.4
• 申請日: 2014-04-24
• 公開（公告）號: CN203950118U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 笹原直樹;向郁夫;佐藤真弓;瀨里泰洋;安部攻治;桐生真奈美
• 申請（專利權）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 白麗;陳建全

技術領域

本實用新型涉及感光性元件、感光性元件卷以及電子部件。

背景技術

感光性元件主要是為了在印制電路布線板上形成電路而使用。另外，感光性元件還在用于保護印制電路布線板上的電路的絕緣膜的形成中、用于恒定地保持液晶顯示裝置中的液晶層間隙的間隔物的形成等中使用。

感光性元件通常具有支撐膜、感光層、保護膜的3層結構。感光性元件例如下使用。首先，將感光性元件的保護膜剝離后，將含有感光性樹脂組合物的感光層層疊(層壓)在基板上(層疊工序)。接著，由支撐膜側對感光層的規定部分照射活性光線以形成光固化部(曝光工序)。之后，將支撐膜剝離除去后，將未曝光部從基板上除去(顯影)，從而在基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物構成的抗蝕圖案(顯影工序)。

所得的抗蝕圖案能夠用于絕緣膜或間隔物等，而且還可作為用于通過對抗蝕圖案進行鍍覆處理或刻蝕處理而形成電路的掩模來使用。

然而，本技術領域中已知保護膜中的與感光層的接觸面的形狀有時會被轉印至感光層。例如下述專利文獻1中示出了：通過將保護膜中的與感光層的接觸面的表面粗糙度(Ra)調整至0.15μm以下并將保護膜中所含的直徑為80μm以上的魚眼的個數控制在5個/m²以下，從而會減少層疊感光層時產生的氣泡。

另外，下述專利文獻2中示出了：通過將保護膜的表面粗糙度(Ra)調整至0.5μm以上，利用層疊時的加壓使其形狀消失，從而提高對凹凸基板的隨動性。

進而，下述專利文獻3中示出了：對于轉印表面粗糙度為0.01～2μm的微細凹凸的感光性元件，通過將保護膜中的與感光層的接觸面的Ra調整至0.05～0.5μm，可以在光納米壓印中使用的具有微細凹凸的基材上層疊不會產生氣泡的感光層。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-330291號公報

專利文獻2：日本特開2000-147755號公報

專利文獻3：日本特開2009-128759號公報

實用新型內容

實用新型要解決的課題

近年來，隨著電子部件的高密度化及高功能化，需要具有薄層的感光層的感光性元件。在將這種具有薄層的感光層的感光性元件的該感光層層壓在基板上時，如果使用以往的感光性元件，則有時會產生層壓氣泡。因此，需要能夠充分地抑制層壓氣泡的產生的感光性元件。

本實用新型意在解決上述課題，其目的在于提供即便感光性元件具有薄層的感光層時、在層壓時也可抑制氣泡產生的感光性元件。另外，本實用新型的目的還在于提供具備所述感光性元件的感光性元件卷以及使用所述感光性元件獲得的電子部件。

用于解決課題的手段

本實用新型的第1實施方式提供一種感光性元件，其具備支撐膜、聚丙烯膜和配置于所述支撐膜與所述聚丙烯膜之間的感光層，所述聚丙烯膜具有所述感光層側的第1面和該第1面的相反側的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。

需要說明的是，本說明書中聚丙烯膜的“第1面及第2面是平滑的”如下定義：在將卷繞在卷芯上的感光性元件的聚丙烯膜剝離后，如圖1所示，將支撐膜和感光層的層疊物(評價膜)F1按照感光層與作為被接觸體的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(PET膜：支撐膜及感光層的寬度為PET膜的寬度的99％)相接觸的方式在作為上述PET膜的F2上轉印(層壓溫度為90℃、層壓速度為2.0m/分鐘)500mm，之后利用顯微鏡(物鏡20倍)對感光層中的未與PET膜(被接觸體)F2相接觸的一面(感光層中與支撐膜相接觸的一面)上的3個規定的測定區域(圖1所示的1cm×1cm的區域A1、A2及A3。區域A1：感光層整體的長度方向及寬度方向的中央部；區域A2：將感光層在長度方向及寬度方向上分別分割成2部分所隔成的4個區域中的1個區域的中央部。區域A3：與區域A2呈對角位置的區域的中央部)進行觀察時，直徑為10μm以上的平均氣泡數為2個以下。

本實用新型的第2實施方式提供一種感光性元件，其具備支撐膜、聚丙烯膜和配置于所述支撐膜與所述聚丙烯膜之間的感光層，所述聚丙烯膜具有所述感光層側的第1面和該第1面的相反側的第2面，所述第1面及所述第2面的算術平均粗糙度Ra為0.05μm以下。

本實用新型的第3實施方式提供一種感光性元件，其具備支撐膜、聚丙烯膜和配置于所述支撐膜與所述聚丙烯膜之間的感光層，所述聚丙烯膜具有所述感光層側的第1面和該第1面的相反側的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax為0.5μm以下。