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[實用新型]一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構有效

專利信息
申請號: 201420202235.4 申請日: 2014-04-24
公開(公告)號: CN203846136U 公開(公告)日: 2014-09-24
發明(設計)人: 楊曉琴;陳園;柳杉;吳曉宇;殷建安;梅超;張偉;王鵬;黃治國 申請(專利權)人: 上饒光電高科技有限公司
主分類號: C30B29/06 分類號: C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00
代理公司: 江西省專利事務所 36100 代理人: 楊志宇
地址: 334100 江*** 國省代碼: 江西;36
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 提高 鑄造 晶體 質量 結構
【權利要求書】:

1.一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,主要包括頂隔熱板(2),由提升連桿(12)連接在上爐體(1)上的側隔熱籠(3),加熱器(4)與電極(13)連接,石墨護板(5)內設置有陶瓷坩堝(11),石墨護板(5)的底部設有熱交換臺(6);立柱(8)和底隔熱板(9)均設置在下爐體(7)內,立柱(8)設置在下爐體(7)的底部并支撐熱交換臺(6),底隔熱板(9)設置在側隔熱籠(3)的底部;其特征在于:陶瓷坩堝(11)和石墨護板(5)之間安裝有保溫裝置(10)。

2.根據權利要求1?所述的一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,其特征在于:陶瓷坩堝(11)的四個側墻外面均安裝有保溫裝置(10),并使得保溫裝置(10)圍繞著陶瓷坩堝(11)形成環狀。

3.根據權利要求1或2所述的一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,其特征在于:所述的保溫裝置(10)覆蓋寬度小于陶瓷坩堝高度的60%,厚度為2-10mm。

4.根據權利要求1或2所述的一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,其特征在于:所述的保溫裝置(10)的材質為碳氈。

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