[實用新型]一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構有效
| 申請號: | 201420202235.4 | 申請日: | 2014-04-24 |
| 公開(公告)號: | CN203846136U | 公開(公告)日: | 2014-09-24 |
| 發明(設計)人: | 楊曉琴;陳園;柳杉;吳曉宇;殷建安;梅超;張偉;王鵬;黃治國 | 申請(專利權)人: | 上饒光電高科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00 |
| 代理公司: | 江西省專利事務所 36100 | 代理人: | 楊志宇 |
| 地址: | 334100 江*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 提高 鑄造 晶體 質量 結構 | ||
1.一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,主要包括頂隔熱板(2),由提升連桿(12)連接在上爐體(1)上的側隔熱籠(3),加熱器(4)與電極(13)連接,石墨護板(5)內設置有陶瓷坩堝(11),石墨護板(5)的底部設有熱交換臺(6);立柱(8)和底隔熱板(9)均設置在下爐體(7)內,立柱(8)設置在下爐體(7)的底部并支撐熱交換臺(6),底隔熱板(9)設置在側隔熱籠(3)的底部;其特征在于:陶瓷坩堝(11)和石墨護板(5)之間安裝有保溫裝置(10)。
2.根據權利要求1?所述的一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,其特征在于:陶瓷坩堝(11)的四個側墻外面均安裝有保溫裝置(10),并使得保溫裝置(10)圍繞著陶瓷坩堝(11)形成環狀。
3.根據權利要求1或2所述的一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,其特征在于:所述的保溫裝置(10)覆蓋寬度小于陶瓷坩堝高度的60%,厚度為2-10mm。
4.根據權利要求1或2所述的一種提高鑄造晶體硅錠質量的熱場結構,其特征在于:所述的保溫裝置(10)的材質為碳氈。
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