[實用新型]一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420197674.0
• 申請日: 2014-04-23
• 公開（公告）號: CN203818355U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳世杰;黃永恩;范全東;朱琛浩
• 申請（專利權(quán)）人: 寧晉賽美港龍電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B01D29/56
• 代理公司: 石家莊冀科專利商標事務(wù)所有限公司 13108
• 代理人: 李羨民;周曉萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種線切割設(shè)備，特別是用于線切割設(shè)備的砂漿循環(huán)過濾供給裝置。?

背景技術(shù)

硅單晶片是一種重要的半導體材料，生產(chǎn)硅單晶片首先要通過單晶爐生產(chǎn)出硅單晶棒，再通過線切割工序加工出硅單晶片產(chǎn)品。在硅片線切割工序中，砂漿對硅片的切割質(zhì)量起著重要作用。隨著近年來的線切割技術(shù)的工藝改進和企業(yè)降低成本，在硅單晶棒的線切割加工工序，切割使用的砂漿不斷被回收再利用，而回收的砂漿中不可避免的混有大量雜質(zhì)，砂漿中混入的雜質(zhì)，極易造成切割中跳線、線痕和斷線事故的發(fā)生。目前，由于線切割機本身沒有對砂漿的過濾裝置，而是采用切割回流時在砂漿缸上設(shè)置一個濾網(wǎng)對回流的砂漿進行簡單過濾。這種過濾方法很難徹底去除砂漿中摻入的雜質(zhì)，給生產(chǎn)造成了事故隱患，并且由于過濾網(wǎng)不易清理，增加人力的投入。?

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)之弊端，提供一種可徹底過濾砂漿中雜質(zhì)從而提高線切割質(zhì)量的砂漿循環(huán)過濾供給裝置。?

本實用新型所述問題是以下述技術(shù)方案實現(xiàn)的：?

一種單砂漿循環(huán)過濾供給裝置，包括連接線切割機的砂漿缸，特別之處是：所述裝置設(shè)有砂漿過濾罐，砂漿缸經(jīng)砂漿泵和管路連通砂漿過濾罐的進口筒，砂漿過濾罐設(shè)有砂漿輸出泵，砂漿輸出泵經(jīng)管路連接線切割機，砂漿過濾罐設(shè)有過濾結(jié)構(gòu)。

上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述過濾結(jié)構(gòu)由上至下設(shè)置為濾袋、第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)，濾袋固定在進口筒下部，進口筒插接在砂漿過濾罐的上蓋處；第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)分別設(shè)置在第一濾框、第二濾框處，第一濾框、第二濾框位于砂漿過濾罐內(nèi)，其位置對應(yīng)濾袋。?

上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述砂漿過濾罐內(nèi)的上部區(qū)域設(shè)有隔板，所述過濾結(jié)構(gòu)設(shè)置在隔板一側(cè)，在隔板另一側(cè)設(shè)有砂漿輸出泵吸管和攪拌軸，攪拌軸與攪拌電機傳動連接，攪拌軸下部設(shè)有攪拌葉片，攪拌電機固定在砂漿過濾罐的上蓋處。?

上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述第一濾框、第二濾框為半圓形，第一濾框、第二濾框的一端與砂漿過濾罐鉸接，第一濾框、第二濾框的另一端設(shè)有鎖環(huán)，砂漿過濾罐上設(shè)有固定環(huán)，插桿穿過鎖環(huán)、固定環(huán)將第一濾框、第二濾框鎖閉。?

上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述砂漿過濾罐上部為圓柱體形、下部為球形，所述攪拌葉片為與砂漿過濾罐下部球形弧度匹配的弧形葉片。?

本實用新型針對解決徹底過濾砂漿雜質(zhì)問題進行了改進，設(shè)計了一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置。所述裝置將增設(shè)的砂漿過濾罐與砂漿缸、線切割機由管路連接，切割使用過的砂漿排入砂漿缸，然后泵入砂漿過濾罐充分過濾雜質(zhì)后，再回輸?shù)骄€切割進使用。砂漿在砂漿過濾罐中需經(jīng)過三重過濾，可以將砂漿中的雜質(zhì)徹底清除，保證線切割機使用高質(zhì)量的砂漿，避免因砂漿中的雜質(zhì)影響切割質(zhì)量。此外，本實用新型過濾結(jié)構(gòu)很便于清理和更換濾網(wǎng)，在實際生產(chǎn)中可定期清理濾網(wǎng)和濾袋，以保證過濾效果。?

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。?

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2是砂漿過濾罐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是圖2的A-A剖視圖；

圖4是圖2的左視圖。

圖中各標號清單為：1、砂漿過濾罐，2、第二濾框，2-1、第二濾網(wǎng)，3、第一濾框，3-1、第一濾網(wǎng)，4、上蓋，5、進口筒，6、攪拌電機，7、砂漿輸出泵，8、砂漿泵，9、砂漿缸，10、線切割機，11、濾袋，12、隔板，13、攪拌軸，14、砂漿輸出泵吸管，15、攪拌葉片，16、固定環(huán)，17、插桿，18、鎖環(huán)。?

具體實施方式

參看圖1，本實用新型包括線切割機10的砂漿缸9，線切割機與砂漿缸由管路連接，線切割機使用過的砂漿排入砂漿缸中。為解決砂漿徹底過濾問題，本實用新型設(shè)置了砂漿過濾罐1，砂漿過濾罐上部為圓柱體形、下部為球形，砂漿缸的砂漿經(jīng)砂漿泵8和管路由砂漿過濾罐的進口筒5通入砂漿過濾罐，將使用過的砂漿泵入砂漿過濾罐進行深度過濾，經(jīng)過濾的砂漿再經(jīng)過砂漿輸出泵7輸出到線切割機。?

參看圖2，砂漿過濾罐設(shè)有過濾結(jié)構(gòu)，過濾結(jié)構(gòu)對砂漿由上至下進行三重過濾。第一重過濾為濾袋11，濾袋固定在進口筒5下部，進口筒插接在砂漿過濾罐的上蓋4處，濾袋對砂漿進行粗過濾，進口筒5可以方便的取下，以清理濾袋11內(nèi)的雜質(zhì)。在濾袋下部設(shè)置第一濾網(wǎng)3-1，第一濾網(wǎng)固定在第一濾框3處，第一濾網(wǎng)對砂漿進行第二重過濾。經(jīng)第一濾網(wǎng)過濾的砂漿，再進入第二濾網(wǎng)2-1進行經(jīng)過濾，第二濾網(wǎng)固定在第二濾框2處，第一濾框、第二濾框均位于砂漿過濾罐內(nèi)。?