[實用新型]硅片脫膠隔板及硅片脫膠工裝

有效

• 申請號: 201420196291.1
• 申請日: 2014-04-21
• 公開（公告）號: CN203818358U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 馬瑩;韓俠
• 申請（專利權）人: 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種硅片脫膠隔板，包括主體，所述主體具有相對的第一端部和第二端部，其特征在于，所述第一端部上開設有第一側面開口槽，所述第一側面開口槽的頂壁凹陷形成有第一開口槽，所述第二端部上開設有第二側面開口槽。

2.根據權利要求1所述的硅片脫膠隔板，其特征在于，所述第一側面開口槽的底壁延伸超出所述第一側面開口槽的頂壁，并形成可供握持的手柄部。

3.根據權利要求1或2所述的硅片脫膠隔板，其特征在于，所述第二側面開口槽的深度為26mm～59mm。

4.根據權利要求1所述的硅片脫膠隔板，其特征在于，所述硅片脫膠隔板的厚度為1.5mm～3mm。

5.根據權利要求1所述的硅片脫膠隔板，其特征在于，所述第一側面開口槽槽底和所述第二側面開口槽槽底之間的距離為110mm～125mm。

6.一種硅片脫膠工裝，其特征在于，包括硅片底托、第一脫膠工裝連接桿、第二脫膠工裝連接桿和如權利要求1～5中任一項所述的硅片脫膠隔板，所述第一脫膠工裝連接桿和所述第二脫膠工裝連接桿平行排列在所述硅片底托兩側，所述硅片脫膠隔板的第二側面開口槽卡入所述第一脫膠工裝連接桿上，所述硅片脫膠隔板的第一開口槽卡入所述第二脫膠工裝連接桿上。

7.根據權利要求6所述的硅片脫膠工裝，其特征在于，所述第一脫膠工裝連接桿和第二脫膠工裝連接桿的外側均包裹著硅膠皮套。

8.根據權利要求7所述的硅片脫膠工裝，其特征在于，所述第一側面開口槽的內徑大于所述第一脫膠工裝連接桿和所述第二脫膠工裝連接桿的外徑。

9.根據權利要求7所述的硅片脫膠工裝，其特征在于，所述第一開口槽的內徑比所述第一脫膠工裝連接桿和所述第二脫膠工裝連接桿的外徑均大0.5mm～1mm，所述第二側面開口槽的內徑比所述第一脫膠工裝連接桿和所述第二脫膠工裝連接桿的外徑均大0.5mm～1mm。