[實(shí)用新型]一種無塵布磷含量熒光測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420195841.8
• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN203811542U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段俊麗
• 申請（專利權(quán)）人: 龍鉅超潔凈科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種無塵布磷含量熒光測試裝置。

背景技術(shù)

無塵擦拭布廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、面板產(chǎn)業(yè)、TP產(chǎn)業(yè)以及太陽能產(chǎn)業(yè)，在上述的產(chǎn)業(yè)中無塵布是直接用于擦拭生產(chǎn)設(shè)備或者產(chǎn)品，且上述產(chǎn)業(yè)中對磷的要求非常高，甚至要求測試為ND，所以為滿足客戶對于無塵布磷含量的要求，目前國際上是利用氣相或者液相色普法來測試磷的定量含量，或者用熒光燈照射做定性分析，上述方法有如下缺點(diǎn)：

①測試設(shè)備價(jià)位高，維護(hù)費(fèi)用高，且需要委外測試；

②測試時(shí)效性差，不能及時(shí)測試并及時(shí)掌控?zé)o塵布中是否含有磷；

③如果用熒光燈直接照射的話，對人體具有一定的危害性。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種無塵布磷含量熒光測試裝置，以實(shí)現(xiàn)無塵布上磷元素的實(shí)時(shí)、高效檢測，提高生產(chǎn)效率及產(chǎn)品質(zhì)量。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種無塵布磷含量熒光測試裝置，包括暗箱，所述暗箱設(shè)置有安全門；所述暗箱頂部還設(shè)置有至少兩個(gè)布夾，所述暗箱側(cè)板設(shè)置有365nm紫外燈以對應(yīng)所述布夾上的無塵布；所述暗箱內(nèi)還設(shè)置有對應(yīng)所述布夾上的無塵布的影像采集器，所述影像采集器通過數(shù)據(jù)線連接至外置顯示器。

其中，所述紫外燈有三根，分別對應(yīng)所述布夾上無塵布的上中下部位置，以確保能夠?qū)o塵布進(jìn)行完整測試。

其中，所述暗箱側(cè)壁還設(shè)置有除塵器，以確保在磷含量測試前為無塵布提供潔凈空間，確保檢測精度及內(nèi)部設(shè)施的使用壽命。

通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提供的一種無塵布磷含量熒光測試裝置，其采用波長為365nm的紫外燈照射無塵布，同時(shí)把紫外燈安裝在一個(gè)不透光的暗箱內(nèi)，確保不受其他光源的影響，并可同時(shí)保護(hù)測試者不受內(nèi)部紫外線的影響，無塵布通過暗箱頂部的布夾夾住以充分展開，并通過影像采集器采集磷光源并將影像傳送至外接的顯示器以方便測試者觀察，因此，該實(shí)用新型可以實(shí)時(shí)監(jiān)控每個(gè)LOT的無塵布的磷含量是否滿足要求，檢測結(jié)果及時(shí)、有效且測試過程安全可控。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種無塵布磷含量熒光測試裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中數(shù)字表示：

11.暗箱??????12.布夾??????13.紫外燈

14.無塵布????15.除塵器

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

參考圖1，本實(shí)用新型提供的無塵布磷含量熒光測試裝置，包括暗箱11，暗箱11設(shè)置有安全門以方便測試者進(jìn)行無塵布14取放操作；暗箱11頂部還設(shè)置有至少兩個(gè)布夾12，暗箱11側(cè)板設(shè)置有三根365nm的紫外燈13以對應(yīng)布夾12上的無塵布14的上中下部位置，以確保能夠?qū)o塵布14進(jìn)行完整測試；暗箱11內(nèi)還設(shè)置有對應(yīng)布夾12上的無塵布14的影像采集器（圖中未示出），影像采集器通過數(shù)據(jù)線連接至外置顯示器（圖中未示出）；暗箱11側(cè)壁還設(shè)置有除塵器15，以確保在磷含量測試前為無塵布14提供潔凈空間，確保檢測精度及內(nèi)部設(shè)施的使用壽命。

本實(shí)用新型的工作原理：

首先打開暗箱11的安全門，將無塵布14平整的夾在暗箱11頂部的布夾12上，然后關(guān)上安全門；

打開除塵器15以確保暗箱11內(nèi)部測試環(huán)境潔凈，然后關(guān)閉除塵器15；

開啟紫外燈13對無塵布14進(jìn)行充分全面的照射；

開啟影像采集器，通過影像采集器采集無塵布14上的磷光源，并通過外接的顯示器顯示影像采集結(jié)果，測試者通過顯示結(jié)果可以方便、及時(shí)的或者檢測結(jié)果；

重復(fù)上述步驟以實(shí)現(xiàn)暗箱11內(nèi)不同批次不同無塵布14的高效、及時(shí)、安全可控的檢測。

對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對上述實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。