[實用新型]硅烷熱分解生產納米級高純硅粉的裝置有效
| 申請號： | 201420193413.1 | 申請日： | 2014-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN203794640U | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發明（設計）人： | 陳德偉;鄭安雄;廖敏;張鵬飛 | 申請（專利權）人： | 浙江中寧硅業有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/027 | 分類號： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 324000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅烷 分解 生產 納米 高純 裝置 | ||
1.一種硅烷熱分解生產納米級高純硅粉的裝置，其特征在于，包括硅烷熱分解系統、硅粉過濾收集系統及尾氣回收處理系統，所述的硅烷分解系統包括反應氣硅烷管線（1）、反應氣氫氣管線（2）、配比緩沖罐（3）、硅烷管式反應器（4）、尾氣冷卻器（5），反應氣硅烷管線（1）、反應氣氫氣管線（2）與配比緩沖罐（3）相連，配比緩沖罐（3）、硅烷管式反應器（4）、尾氣冷卻器（5）順次相連，硅粉過濾收集系統包括氫氣反吹過濾器管線（6）、一級硅粉過濾器（7）、二級硅粉過濾器（8）、一級硅粉收集倉（9）、二級硅粉收集倉（10）、真空泵（11）、一級硅粉出口管線（12）、二級硅粉出口管線（13），氫氣反吹過濾器管線（6）一端與反應氣氫氣管線（2）相連，氫氣反吹過濾器管線（6）另一端分別與一級硅粉過濾器（7）、二級硅粉過濾器（8）相連，尾氣冷卻器（5）、一級硅粉過濾器（7）、二級硅粉過濾器（8）順次相連，一級硅粉過濾器（7）、一級硅粉收集倉（9）、一級硅粉出口管線（12）順次相連，二級硅粉過濾器（8）、二級硅粉收集倉（10）、二級硅粉出口管線（13）順次相連，一級硅粉收集倉（9）、二級硅粉收集倉（10）分別與真空泵（11）相連，尾氣回收處理系統包括尾氣深冷器（14）、壓縮機（15）、吸附塔（16）、氣液分離罐（17）、氣液分離罐液態硅烷出口管線（18）、氣液分離罐氫氣出口管線（19），二級硅粉過濾器（8）、尾氣深冷器（14）、壓縮機（15）、吸附塔（16）、氣液分離罐（17）、氣液分離罐液態硅烷出口管線（18）順次相連，氣液分離罐（17）通過氣液分離罐氫氣出口管線（19）與配比緩沖罐（3）相連。
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