[實(shí)用新型]單晶臥式反打定向儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420191911.2
• 申請日: 2014-04-21
• 公開（公告）號: CN203798749U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甄偉;趙松彬
• 申請（專利權(quán)）人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 沈陽利泰專利商標(biāo)代理有限公司 21209
• 代理人: 李樞

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及X射線測量儀，特別是涉及應(yīng)用X射線衍射原理，采用臥式結(jié)構(gòu)及反打方式，用于各種單晶晶錠材料的單晶臥式反打定向儀。

背景技術(shù)

生長出來的各種直徑單晶晶錠在加工成晶棒、晶片前，需要先精確地測定單晶晶體角度、再確定棒端面及參考邊，再加工成晶片，要有與加工機(jī)機(jī)械相配套的定向儀，用來進(jìn)行單晶晶錠材料的粘結(jié)定向，并提供產(chǎn)品要求的加工晶體原子面角度。傳統(tǒng)的X射線定向儀，其測角儀的樣品測量臺臺面狹小、承載能力不足、測量精度低，局限了單晶晶錠材料的應(yīng)用規(guī)格范圍，使之無法粘結(jié)定向體積（直徑）較大的晶砣，無法滿足各種規(guī)格單晶晶錠材料多角度粘結(jié)定向，測量范圍小，測試及定向精度差，滿足不了各種直徑規(guī)格單晶生產(chǎn)的需要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠不同規(guī)格單晶晶錠材料多角度測量，減少因基準(zhǔn)面累加而產(chǎn)生的測量誤差，有效的提高被測晶體的測量精度，樣品臺可進(jìn)行四方位調(diào)節(jié)和360°旋轉(zhuǎn)定向，延長樣品臺的使用壽命，可放置大尺寸、大重量晶棒，方便測量的單晶臥式反打定向儀。

采用的技術(shù)方案是：

單晶臥式反打定向儀，包括機(jī)架、蓋板、工作臺、減速機(jī)、X射線發(fā)生器、光閘、閃爍探測器、轉(zhuǎn)接板、旋轉(zhuǎn)手輪、調(diào)整手輪。所述的減速機(jī)外設(shè)主動帶輪和調(diào)整手輪，調(diào)整手輪與主動帶輪同軸，減速機(jī)的輸入軸裝有從動帶輪，主動帶輪通過齒形帶連接從動帶輪，轉(zhuǎn)動調(diào)整手輪，主動帶輪帶動從動帶輪使減速機(jī)輸入軸旋轉(zhuǎn)，輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機(jī)輸出軸減速旋轉(zhuǎn)。所述轉(zhuǎn)接板與減速機(jī)輸出軸固定連接，X射線發(fā)生器及光閘固裝在轉(zhuǎn)接板上，位置可通過旋轉(zhuǎn)手輪改變。所述閃爍探測器連接支板可繞減速機(jī)輸出軸手動調(diào)整位置。所述工作臺安裝在機(jī)架及蓋板上，工作臺可通過旋轉(zhuǎn)手輪360°旋轉(zhuǎn)。工作臺的下方設(shè)置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電。

上述的工作臺上裝設(shè)有數(shù)顯裝置，減速機(jī)的輸出軸后端安裝有編碼器，由機(jī)架內(nèi)部安裝電器控制。

本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、測量精度高等優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、加工精度高等優(yōu)點(diǎn)，解決了單晶晶錠只能定向一個角度的難題。

2、編碼器與主軸（減速機(jī)輸出軸）直聯(lián)，消除了其它傳動系統(tǒng)傳動角度間隙誤差，定向測量精度高。

3、可增加二維球面夾具體裝置，采用四方位球面墊、螺桿調(diào)節(jié)，使夾具體的調(diào)節(jié)方便鎖緊可靠。

4、工作臺是將放在夾具體的待測單晶晶錠用夾具體在X光下進(jìn)行四方位反復(fù)定向測量，工作臺360°旋轉(zhuǎn)，晶體的峰值都能達(dá)到測量精度，提高了晶體的測量定向精度。

5、本儀器電氣控制裝置為設(shè)定X光管電流大小，通過微安表確定晶體峰值精度，角度儀編碼器和回轉(zhuǎn)工作臺聯(lián)接的編碼器與數(shù)顯表X軸、Y軸直接聯(lián)線，旋轉(zhuǎn)手輪精確的測量定向角度和回轉(zhuǎn)工作臺旋轉(zhuǎn)360°每個位置的峰值精度。據(jù)用戶的需要即能定向正晶向，又能定向偏晶向。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

單晶臥式反打定向儀，包括機(jī)架1、蓋板2、工作臺15、減速機(jī)8、X射線發(fā)生器3、光閘4、閃爍探測器17、轉(zhuǎn)接板5、旋轉(zhuǎn)手輪6、調(diào)整手輪14。所述的減速機(jī)8外設(shè)主動帶輪13和調(diào)整手輪14，調(diào)整手輪14與主動帶輪13同軸，減速機(jī)8的輸入軸10裝有從動帶輪11，主動帶輪13通過齒形帶12連接從動帶輪11，轉(zhuǎn)動調(diào)整手輪14，主動帶輪13帶動從動帶輪11使減速機(jī)輸入軸10旋轉(zhuǎn)，輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機(jī)輸出軸7減速旋轉(zhuǎn)。所述轉(zhuǎn)接板5與減速機(jī)輸出軸7固定連接，X射線發(fā)生器3及光閘4固裝在轉(zhuǎn)接板5上，位置可通過旋轉(zhuǎn)手輪6改變，X射線發(fā)生器3發(fā)生的X射線經(jīng)光閘4照射到工作臺上放置的單晶工件9上，經(jīng)單晶工件9將按布拉格方程反射的X射線被閃爍探測器17接收。所述閃爍探測器17連接支板16可繞減速機(jī)輸出軸手動調(diào)整位置。所述工作臺15安裝在機(jī)架1及蓋板2上，工作臺15可通過旋轉(zhuǎn)手輪360°旋轉(zhuǎn)，精確的測量定向角度和單晶工件9旋轉(zhuǎn)360°的每個位置的峰值精度，據(jù)用戶的需要即能定向單晶工件9的正晶向，又能定向偏晶向。工作臺上裝設(shè)有數(shù)顯裝置，減速機(jī)的輸出軸后端安裝有編碼器，由機(jī)架內(nèi)部安裝電器控制。工作臺15的下方設(shè)置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電，構(gòu)成單晶臥式反打定向儀。