[實用新型]鍍前處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420188536.6
• 申請日: 2014-04-17
• 公開（公告）號: CN203820905U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張偉
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇中博鉆石科技有限公司
• 主分類號: C25D5/34
• 分類號: C25D5/34;C23G3/02;C25D15/00
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)，尤其涉及一種用于裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的鍍前處理裝置。

背景技術(shù)

電子、新能源以及光學(xué)行業(yè)迅猛發(fā)展，將單晶硅，藍寶石，磁性材料，陶瓷材料，玉石，貴金屬等材料切割成晶片的制造廠商不斷增加。市場上的主流多線切割工藝為“裸鋼線+磨料漿液”。這種采用游離磨料的切割方式與以往的內(nèi)圓鋸片，外圓刀片，帶鋸相比，具有可切割大直徑晶棒和多線同時切割，減少線損等優(yōu)勢，但也存在以下明顯不足：

1、晶棒以及加工區(qū)域脂基研磨液污染；

2、泥漿狀的切削液在使用后需要經(jīng)過處理排放，易造成環(huán)境污染，再處理過程中水排放很大，環(huán)保壓力大。

3、切割工藝為游離磨粒的材料去除機理，切削效率低；

4、藍寶石，砷化鎵、碳化硅等第二、三代半導(dǎo)體材料硬度高，難以切削，晶圓表面粗糙度高。

5、切割過后廢料和磨料粒度相近，很難回收再利用。

鉆石線鋸切割工藝，切割速度是“裸鋼線+磨料漿液”的3-5倍。在切割相同材料時，前者所需要的磨粒線只有后者的1%。自從改用乳化水冷卻后，生產(chǎn)相同數(shù)量產(chǎn)品的廢水量減少到以往的2%，符合國家節(jié)能減排的倡導(dǎo)。

電鍍鉆石線鋸是將高硬度、高耐磨性的金剛石微粉固結(jié)在金屬絲上。運用于晶體切割，切割速度快，廢水量少，晶片彎曲度、翹曲度小，平行度好，總厚度公差離散型小，刀口切割損耗小，表面損傷層淺，晶片表面粗糙度小。被切割材料覆蓋各種半導(dǎo)體材料，如硅、鍺、鉭酸鋰，砷化鎵、磷化銦，人造寶石、碳化硅以及石英玻璃、氧化鋁片等材料的精密切割。

目前生產(chǎn)電鍍鉆石線鋸的生產(chǎn)系統(tǒng)主要存在以下不足：

1、目前的鉆石電鍍鉆石線鋸都采用鍍衣金剛石微粉，即在金剛石微粉表面用電鍍或化學(xué)鍍，復(fù)合鍍等方式先鍍一層金屬，使微粉表面導(dǎo)電，然后投入使用。用這種方式可以使金剛石快速吸附在線表面,同時由于金剛石表面有導(dǎo)電性，在電沉積過程中，由于尖端效應(yīng)，會使金剛石表面的鍍層變得很厚，鍍層厚度大于裸線表面的鍍層厚度，影響線的切割能力。

2、鍍衣金剛石沉積在裸線表面的時候，本身由于導(dǎo)電的問題，很容易再鍍上金剛石，使表面產(chǎn)生團聚或者堆積的現(xiàn)象，影響切割質(zhì)量。

3、現(xiàn)有應(yīng)用的金剛線生產(chǎn)設(shè)備一般都是單根走線，生產(chǎn)效率較低。

因此尋求一種產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種用于組裝產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的鍍前處理裝置。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：

一種鍍前處理裝置，它包括鍍前處理裝置機架，鍍前處理裝置機架分為上下兩層，上層的鍍前處理裝置機架上設(shè)置有四個鍍前處理洗槽，四個鍍前處理洗槽從前至后依次為鍍前處理堿洗槽、鍍前處理冷水洗槽、鍍前處理酸洗槽以及鍍前處理熱水洗槽，上層的鍍前處理裝置機架的前端以及后端分別設(shè)置有鍍前處理前導(dǎo)輪以及鍍前處理后導(dǎo)輪，下層的鍍前處理裝置機架上設(shè)置有四個鍍前處理集液槽，四個鍍前處理集液槽從前至后依次為鍍前處理堿洗液集液槽、鍍前處理冷水洗液集液槽、鍍前處理酸洗液集液槽以及鍍前處理熱水洗液集液槽，四個鍍前處理集液槽分別位于四個鍍前處理洗槽的下方。

四個鍍前處理洗槽之間設(shè)置有鍍前處理槽間擋板，各個鍍前處理洗槽內(nèi)還設(shè)置有分別位于鍍前處理洗槽前段以及鍍前處理洗槽后段的鍍前處理槽內(nèi)擋板，鍍前處理槽間擋板以及鍍前處理槽內(nèi)擋板的頂部均設(shè)置有四個導(dǎo)線孔。

所述鍍前處理堿洗槽以及鍍前處理酸洗槽內(nèi)的中部設(shè)置有前后布置的兩個鍍前處理洗槽管道支架，兩個鍍前處理洗槽管道支架上沿鍍前處理洗槽長度方向并聯(lián)架設(shè)有四個鍍前處理洗液管道，四個鍍前處理洗液管道之間連接有鍍前處理洗液總管道，四個鍍前處理洗液管道的兩端敞開。

鍍前處理裝置機架頂部的各個鍍前處理洗槽上均設(shè)置有洗槽蓋，鍍前處理裝置機架側(cè)面的各個鍍前處理集液槽外均設(shè)置有側(cè)門。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型鍍前處理裝置具有用于組裝產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的優(yōu)點。

附圖說明

圖1為裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。

圖2為鍍前處理裝置的結(jié)構(gòu)圖。

圖3為圖2去除洗槽蓋以及側(cè)門后的結(jié)構(gòu)圖。

圖4為鍍前處理裝置內(nèi)的上層結(jié)構(gòu)圖。

圖5為圖4的爆炸圖。