[實用新型]一種電極橫向可動的微機械圓盤諧振器有效
| 申請號： | 201420183493.2 | 申請日： | 2014-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN203840296U | 公開（公告）日： | 2014-09-17 |
| 發明（設計）人： | 董林璽;俞權 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | H03H9/24 | 分類號： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 杜軍 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電極 橫向 微機 圓盤 諧振器 | ||
【權利要求書】：
1.?一種電極橫向可動的微機械圓盤諧振器，包括振動圓盤、電極、電極桿、矩形彈性臂、電極臂、點狀支承、金屬導線和基片，其特征在于：
振動圓盤兩側對稱設置有電極，其中的一個電極為輸入電極、另一個電極為輸出電極；電極桿的一端與電極連接，另一端與矩形彈性臂連接，矩形彈性臂的兩端分別通過電極臂與點狀支承固定，點狀支承下方為基片；矩形彈性臂和電極臂表面設置二氧化硅電絕緣層，并在上方鋪上金屬導線。
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