[實用新型]成膜裝置和載體

有效

• 申請號: 201420182418.4
• 申請日: 2014-04-15
• 公開（公告）號: CN203794979U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 歌代智也
• 申請（專利權）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;H01L21/677
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種成膜裝置，其特征在于，所述成膜裝置包括：

引導機構，所述引導機構在載體保持基板的情況下引導被沿著輸送路徑輸送的載體，在所述基板上進行成膜處理，其中，

所述引導機構包括：

第一支撐面，所述第一支撐面被配置于所述輸送路徑的一側方，并且從下方支撐在所述輸送路徑上被輸送的所述載體的一部分；以及

第二支撐面，所述第二支撐面被配置于隔著所述輸送路徑與所述第一支撐面相對的對向側，并且從下方支撐在所述輸送路徑上被輸送的所述載體的一部分，其中，

所述第一支撐面朝向所述第二支撐面所在側下降地傾斜設置，并且所述第二支撐面朝向所述第一支撐面所在側下降地傾斜設置。

2.根據權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述第一支撐面被配置于所述輸送路徑的所述一側方，并且沿著所述輸送路徑配置以從下方支撐并引導在所述輸送路徑上被輸送的所述載體的一部分，并且

所述第二支撐面被配置于所述輸送路徑的另一側方，并且沿著所述輸送路徑配置以從下方支撐并引導在所述輸送路徑上被輸送的所述載體的一部分。

3.根據權利要求2所述的成膜裝置，其特征在于，所述載體的待由所述第一支撐面支撐的一部分以及所述載體的待由所述第二支撐面支撐的一部分均設置有轉動構件。

4.根據權利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，

所述載體的待由所述第一支撐面支撐的部分設置有第一轉動構件，所述載體的待由所述第二支撐面支撐的部分設置有第二轉動構件，所述第一轉動構件圍繞具有一端和另一端的轉動軸轉動，所述第二轉動構件圍繞具有一端和另一端的轉動軸轉動，

所述第一轉動構件被配置成使得，其轉動軸的所述一端被定位于所述輸送路徑所在側且其轉動軸的所述另一端被定位于所述一側方，且所述另一端被定位于所述一端的上方以使所述轉動軸相對于水平方向傾斜，并且

所述第二轉動構件被配置成使得，其轉動軸的所述一端被定位于所述輸送路徑所在側且其轉動軸的所述另一端被定位于所述另一側方，且所述另一端被定位于所述一端的上方以使所述轉動軸相對于水平方向傾斜。

5.根據權利要求4所述的成膜裝置，其特征在于，

所述第一轉動構件和所述第二轉動構件均包括圓筒狀的轉動體，

所述第一支撐面從下方與所述第一轉動構件的所述轉動體的外周面接觸，以支撐所述第一轉動構件，并且

所述第二支撐面從下方與所述第二轉動構件的所述轉動體的外周面接觸，以支撐所述第二轉動構件。

6.根據權利要求1-5中的任意一項所述的成膜裝置，其特征在于，所述載體的待由所述第一支撐面支撐的部分以及所述載體的待由所述第二支撐面支撐的部分都位于所述載體的重心的上方。

7.一種載體，待進行成膜處理的基板安裝于該載體，該載體在由設置于輸送路徑的一側方的引導部以及設置于所述輸送路徑的另一側方的引導部引導的同時被沿著所述輸送路徑輸送，其中，所述輸送路徑設置于成膜裝置中，其特征在于，所述載體包括：

載體主體，所述基板安裝于所述載體主體，該載體主體在所述成膜裝置中的所述輸送路徑上被輸送；

第一轉動構件，所述第一轉動構件被設置成能夠圍繞具有一端和另一端的轉動軸轉動，當所述載體主體在所述輸送路徑上被輸送時，設置于所述一側方的引導部在從下方支撐所述第一轉動構件的同時引導所述第一轉動構件；和

第二轉動構件，所述第二轉動構件被設置成能夠圍繞具有一端和另一端的轉動軸轉動，當所述載體主體在所述輸送路徑上被輸送時，設置于所述另一側方的引導部在從下方支撐所述第二轉動構件的同時引導所述第二轉動構件；其中，

所述第一轉動構件被配置成使得，當所述載體主體在所述輸送路徑上被輸送時，所述第一轉動構件的轉動軸的所述一端被定位于所述輸送路徑所在側且所述另一端被定位于所述一側方，且所述另一端被定位于所述一端的上方以使所述轉動軸相對于水平方向傾斜，且

所述第二轉動構件被配置成使得，當所述載體主體在所述輸送路徑上被輸送時，所述第二轉動構件的轉動軸的所述一端被定位于所述輸送路徑所在側且所述另一端被定位于所述另一側方，且所述另一端被定位于所述一端的上方以使所述轉動軸相對于水平方向傾斜。

8.根據權利要求7所述的載體，其特征在于，所述第一轉動構件和所述第二轉動構件被設置成使得，當所述載體主體在所述輸送路徑上被輸送時，所述第一轉動構件和所述第二轉動構件的設定位置在輸送方向上彼此不同。