[實用新型]一種中波紅外長波通濾光片有效
| 申請號: | 201420182095.9 | 申請日: | 2014-04-16 |
| 公開(公告)號: | CN203849438U | 公開(公告)日: | 2014-09-24 |
| 發明(設計)人: | 王明利 | 申請(專利權)人: | 蘇州奧科輝光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/20 | 分類號: | G02B5/20;G02B1/00 |
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| 地址: | 215000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 中波 紅外 長波 濾光 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種濾光片,具體為一種中波紅外長波通濾光片。
背景技術
隨著空間技術和光學器件的迅速發展,紅外光學系統的應用越來越受到重視,紅外光學系統主要作用于近紅外(NWIR,0.75-2.5μm)、中紅外(MWIR,3-5μm)以及遠紅外(LWIR,8-14μm)。在實際應用中,紅外光學系統大多數被用在復雜的偵測環境中,受到環境濕度、目標儀器的噪音、溫度等因素的干擾,使得對目標信息的提取變得困難;而光信號必須經過濾光片、防護窗口、分光鏡等進行時間和空間濾波,按照一定的比例要求完成背景和物像的分離,這就要求當光在這些元器件中傳播時,其輻射通量須盡可能的以最大值傳輸給探測儀,即要求各光學元件具備盡可能低的吸收和散射,因此根據不同要求在光學元件上鍍制滿足要求的薄膜,對于改善其光學性能、提高系統性能起到了無可替代的作用。針對光學儀器對光學元件光譜性能的要求,中波紅外長波通濾光片是其中一個重要的薄膜器件。而傳統的濾光片由于其膜層結構設置的問題,比較難滿足光譜性能的要求。
發明內容
針對上述技術問題,本實用新型公開一種中波紅外長波通濾光片,包括:基板1;膜層,包括依次交替沉積于所述基板1上的Ge膜層2以及ZnS膜層3,且所述Ge膜層2以及ZnS膜層3的膜層數分別為13層和12層。
優選的,所述基板1為Si基板或者Ge基板。
本實用新型的有益效果是通過在基板上依次交替沉積多個高折射率膜層以及多個低折射率膜層的結構,實現了不同波長的光的選擇性通過以及較高的透過率,并且所述濾光片的生產成本低、環境穩定性高。
附圖說明
圖1是本實用新型所述中波紅外長波通濾光片的結構示意圖;
圖2是本實用新型所述中波紅外長波通濾光片的波長(nm)?-透過率(%)關系曲線圖。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明,以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。
如圖1所示,本實用新型公開一種中波紅外長波通濾光片,包括:基板1;膜層,包括依次交替沉積于所述基板1上的Ge膜層2以及ZnS膜層3,且所述Ge膜層2以及ZnS膜層3的膜層數分別為13層和12層。
優選的,所述基板1為Si基板或者Ge基板。
下面具體講述本實用新型所述中波紅外長波通濾光片。
實施例1
如圖1所示,本實用新型所述中波紅外長波通濾光片的基板1為Si基板或者Ge基板,在所述基板1上依次交替沉積多個Ge膜層2以及ZnS膜層3。其中Ge膜層2的膜層數為13層,ZnS膜層3的膜層數為12層。
各層膜自上而下的厚度如下:?
0.105H/1.948L/1.834H/0.382L/1.504H/1.309L/0.679H/1.452L/1.152H/0.877L/1.323H/1.016L/0.987H/1.06L/0.709H/0.763L/0.793H/0.711L/1.513H/0.568L/1.172H/0.661L/0.138H/1.156L/0.14H
其中,H和L分別代表Ge膜層2(高折射率材料層)和ZnS膜層3(低折射率材料層)的一個1/4波長光學厚度,Ge膜層2對應的折射率Hn=4.58,?ZnS膜層3對應的折射率Ln=2.2。本例中波長λ=3000nm,1H=1/4λHn;1L=1/4λLn。H和L前面的系數表示1/4波長的倍數。
如圖2所示,本實用新型所述中波紅外長波通濾光片,在波長3000nm,光線垂直射入時,允許波長大于3000nm的光通過,而波長在400-2700nm之間的光被隔離,即截止,所述濾光片通過采用多個Ge膜層2(高折射率材料層)和ZnS膜層3(低折射率材料層)結構實現不同波長的光的選擇性通過,基于光的干涉原理,通過光的相互干涉,使得所需波長相對加長,而不需要的波長相對減弱,實現高透過率的光選擇性能,且所述濾光片的生產成本低、環境穩定性高。
盡管本實用新型的實施方案已公開如上,但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用,它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域,對于熟悉本領域的人員而言,可容易地實現另外的修改,因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下,本實用新型并不限于特定的細節和這里示出與描述的圖例。
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