[實用新型]電子組件取放設備有效
| 申請號: | 201420181562.6 | 申請日: | 2014-04-15 |
| 公開(公告)號: | CN203787408U | 公開(公告)日: | 2014-08-20 |
| 發明(設計)人: | 盧彥豪 | 申請(專利權)人: | 梭特科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王潔 |
| 地址: | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電子 組件 設備 | ||
1.一種電子組件取放設備,包含:
一組件承載臺;
二個移載平臺;
一置放平臺;
一旋轉取放裝置,具有一旋轉取放臂,該旋轉取放臂旋轉位移地設置在該組件承載臺與該移載平臺之間而取放電子組件;以及
一直線取放裝置,具有二個直線取放臂,該二個直線取放臂直線位移地設置在該移載平臺與該置放平臺之間而取放電子組件。
2.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該二個移載平臺相對于該組件承載臺互相位于該旋轉取放臂的旋轉對稱位置。
3.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該置放平臺系位于該二個移載平臺的相連直線上,該二個直線取放臂系直線位移地設置在該二個移載平臺之間而取放電子組件。
4.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該置放平臺系位于該二個移載平臺之間。
5.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該二個直線取放臂直線位移地設置在不同的該移載平臺與該置放平臺之間而取放電子組件。
6.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該電子組件為一晶粒或一封裝組件。
7.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該組件承載臺為一晶圓承載環。
8.根據權利要求1所述的電子組件取放設備,其特征在于,該移載平臺為預熱平臺。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





