[實用新型]超高純氣體換熱器

有效

• 申請號: 201420180479.7
• 申請日: 2014-04-15
• 公開（公告）號: CN203869324U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 俞世橋;厲磊磊;蔣美卿
• 申請（專利權）人: 浙江金象科技有限公司
• 主分類號: F24H7/04
• 分類號: F24H7/04;F24H9/18;F24H9/20;F24H9/00
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 張金剛

技術領域

本實用新型涉及液體汽化技術，具體來說是超高純氣體換熱器。?

背景技術

超高純氣體是指小于十億分之一的氧的純度氣體，超高純氣體在電子行業、石油化工、醫藥國防等各領域發揮著巨大的作用，應用領域主要在集成電路制造、新型電子元器件等領域。基于超高純氣體在電子產業中的重要性,以及國際上對尖端技術的牽制作用，我國對國產超高純氣體的研究及產業化明確重點扶持。?

現有技術中，超高純氣體的制備，一般采用蒸餾塔來實現，蒸餾塔按照數量來分例如單塔循環、帶預分餾器或后分餾器的單塔、雙塔循環和包含兩個以上蒸餾塔的循環。?

其中一個很重要的步驟就是汽化，現有技術中，一般采用液氨從進料口進入加熱管道，加熱管道經過燃燒加熱或熱水加熱后，從出料管出來，得到相應的氣態氨。?

但現有技術中的結構會存在以下技術問題：?

1、傳熱效率較低，能源損耗較大，影響換熱器的正常使用；?

2、安全性能較差；?

3、工作時間較短，汽化量不穩定，生產效率較低；?

4、使用壽命較低，因為溫度難以控制，氣體的純度難以保證；?

5、無保溫結構，熱損較大。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服以上現有技術存在的不足，提供了一種結構簡單、造價合適、可連續長時間工作、汽化量極其穩定、采用電加熱與余熱熱水組合加熱及節能環保的超高純氣體換熱器。?

為了達到上述目的，本實用新型采用以下技術方案：超高純氣體換熱器，包括外殼，外殼內充滿水，外殼左右兩側分別設置左換熱管支撐固定板和右換熱管支撐固定板，左換熱管支撐固定板和右換熱管支撐固定板之間設置氨循環盤管組件，氨循環盤管組件的底部進口處連接進料管，氨循環盤管組件的頂部出口處連接出料管，氨循環盤管組件下方設置熱水循環盤管組件，熱水循環盤管組件的上端為熱水進口，熱水循環盤管組件的下端為熱水出口，外殼底部設置若干插入式電加熱器，外殼內設置熱電偶，熱電偶與外殼外表面上防爆箱內的PID控制器連接，PID控制器與若干插入式電加熱器連接。?

為了便于操作，便于控制及知道外殼內的情況，所述外殼頂部設有進料口、出料口、進水口、水位計接口及壓力表接口；進料管穿過進料口，出料管穿過出料口，進水口連接進水管，進水管上設置進水閥門，水位計穿過水位計接口進入外殼內部，壓力表穿過壓力表接口進入外殼內部；外殼上開設若干個測溫口，熱電偶設于測溫口內；外殼底部設置出水口，出水口連接出水管，出水管上設置出水閥門。?

為了便于收集氣體、監測氣體、觀察外殼內水的容量及溫度，所述氨循環盤管組件的頂部出口處連接出料管中部位置，出料管上部側邊設置安全泄放口和出料管液位計上接口，出料管底部設置出料管液位計下接口，出料管液位計上接口連接出料管液位計上端，出料管液位計下接口與外殼連接處設置固定環，固定環中間設置連接管，固定環內設置雙密封面法蘭，雙密封面法蘭連接密封墊片和密封板，連接管一端連接出料管液位計下接口，連接管另一端連接出料管液位計下端，出料管液位計位于外殼之外；所述外殼上部外表面設置殼內液位計、觀察測溫口及溢流口；觀察測溫口內設置溫度計，?溢流口連接溢流管，溢流管出口在外殼底部。?

為了受熱更均勻，使汽化效果更好，所述氨循環盤管組件和熱水循環盤管組件均為立式蛇形換熱管，立式蛇形換熱管為內拋光不銹鋼換熱管。?

優選的，所述插入式電加熱器為5組，且呈水平設置，插入式電加熱器外端部套設上半圓隔離罩和下半圓隔離罩，上半圓隔離罩和下半圓隔離罩上均勻開設若干通孔，插入式電加熱器內端部距外殼內表面的水平距離為130～150mm，相鄰插入式電加熱器的間距為150～170mm，外殼外表面設置保溫層。?

優選的，所述插入式電加熱器為6組，且呈等腰三角形設置，插入式電加熱器外端部套設上半圓隔離罩和下半圓隔離罩，上半圓隔離罩和下半圓隔離罩上均勻開設若干通孔，插入式電加熱器內端部距外殼內表面的水平距離為130～150mm，外殼外表面設置保溫層。?

為了便于安裝，所述左換熱管支撐固定板和右換熱管支撐固定板均包括板體，板體中間位置縱向開設若干第一條形孔，第一條形孔兩側分別均勻開設若干第二條形孔，上下相鄰第二條形孔之間開設若干圓形換熱管通孔。?

一種超高純氣體換熱器的實現方法，包括以下步驟：?

（1）、在外殼內灌滿熱水，進料管灌入液氨，熱水進口通入熱水；?