[實用新型]掃描電子顯微鏡內應變檢測型原位劃痕測試裝置

有效

• 申請號: 201420179833.4
• 申請日: 2014-04-14
• 公開（公告）號: CN203811490U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 黃虎;趙宏偉;劉彥超;時月;杜雨萌
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40
• 代理公司: 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 22100
• 代理人: 王怡敏

1.一種掃描電子顯微鏡內應變檢測型原位劃痕測試裝置，其特征在于：包括基座、橫向力與軸向力測試傳感器、定位部分，壓頭桿及金剛石壓頭（7）通過鎖緊螺釘安裝在橫向力與軸向力測試傳感器前端圓孔中，被測試件（8）通過導電膠帶粘貼在粘滑驅動器B（9）上；所述的定位部分包括粘滑驅動器A（3）、粘滑驅動器B（9）和粘滑驅動器C（10），并分別通過螺釘與基座（1）連接；所述的橫向力與軸向力測試傳感器由彈性體（5）、x向/橫向力測量應變片組（4）和y向/軸向力測量應變片組（6）組成，并通過連接件（2）與滑驅動器A（3）連接，其中彈性體（5）包含十字交叉布置的2個凹槽，x向/橫向力測量應變片組、y向/軸向力測量應變片組（4、6）分別對應粘貼在2個凹槽薄弱環節。

2.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡內應變檢測型原位劃痕測試裝置，其特征在于：所述的掃描電子顯微鏡內應變檢測型原位劃痕測試裝置的尺寸為97mm×40mm×44.5mm。