[實(shí)用新型]基于微小流量檢測(cè)氣源控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420179368.4
• 申請(qǐng)日: 2014-04-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203772372U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 塔依爾·斯拉甫力;梁芳;黃湘來(lái);蔡勤;鐘偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 新疆維吾爾自治區(qū)計(jì)量測(cè)試研究院
• 主分類(lèi)號(hào): G01F25/00
• 分類(lèi)號(hào): G01F25/00
• 代理公司: 北京中恒高博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11249
• 代理人: 劉洪京

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及檢測(cè)氣源控制裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種基于微小流量檢測(cè)氣源控制裝置，特別是用于氣體小流量檢測(cè)的裝置。

背景技術(shù)

隨著氣體檢測(cè)在化學(xué)生產(chǎn)、環(huán)境檢測(cè)、航天航空以及電子工業(yè)等領(lǐng)域應(yīng)用的不斷提升，微小氣體計(jì)量的溯源以及可靠校準(zhǔn)也逐漸受到了重視。就目前來(lái)看，關(guān)于氣體小流量溯源的裝置并不多，同時(shí)氣體小流量氣源的問(wèn)題直接影響到測(cè)量結(jié)果，因此如何能夠控制好微小流量檢測(cè)氣源的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度是一個(gè)迫切的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種基于微小流量檢測(cè)氣源控制裝置，結(jié)構(gòu)巧妙，使用方便。

為了實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案：一種基于微小流量檢測(cè)氣源控制裝置，包括與氣源連接的壓力調(diào)節(jié)閥和流量調(diào)節(jié)裝置，該壓力調(diào)節(jié)閥與該流量調(diào)節(jié)裝置連通，該流量調(diào)節(jié)裝置由連通的質(zhì)量流量計(jì)和流量調(diào)節(jié)閥構(gòu)成。

進(jìn)一步地，所述流量調(diào)節(jié)裝置為并聯(lián)設(shè)置的兩個(gè)。

進(jìn)一步地，該兩個(gè)流量調(diào)節(jié)裝置的流量分別控制為小于100ml/min、大于100ml/min小于6L/min。

進(jìn)一步地，所述壓力調(diào)節(jié)閥的出口壓力為5～10kPa。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、氣源控制操作簡(jiǎn)單、方便；

2、減小外界環(huán)境對(duì)氣源的干擾，輸出更可靠的氣源；

3、對(duì)于氣源要求大小控制的更加精確，提高了檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確度和可靠性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應(yīng)對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍有任何的限制作用。

如圖1和2所示的一種基于微小流量檢測(cè)氣源控制裝置，包括與氣源連接的壓力調(diào)節(jié)閥3和流量調(diào)節(jié)裝置，該壓力調(diào)節(jié)閥3與該流量調(diào)節(jié)裝置連通，該流量調(diào)節(jié)裝置由連通的質(zhì)量流量計(jì)2和流量調(diào)節(jié)閥1構(gòu)成。流量調(diào)節(jié)裝置為并聯(lián)設(shè)置的兩個(gè)。

該裝置中氣源是使用高壓儲(chǔ)氣瓶，如氮?dú)馄浚獨(dú)馄枯敵鰤毫φ{(diào)整到0.1MPa左右，其出口端接上壓力調(diào)節(jié)閥3和相應(yīng)的調(diào)壓旋鈕4，并在壓力調(diào)節(jié)閥3處設(shè)有常規(guī)的壓力表5和出氣口6，將壓力調(diào)整到5～10kPa，自調(diào)壓模塊出來(lái)的氣體接到流量調(diào)節(jié)模塊的入口。流量調(diào)節(jié)模塊分兩通路，一路調(diào)節(jié)100ml/min以下的流量范圍，另外一路調(diào)整大于100ml/min小于6L/min的流量范圍。流量調(diào)節(jié)模塊由連通的質(zhì)量流量計(jì)2和流量調(diào)節(jié)閥1構(gòu)成，精密調(diào)節(jié)閥1需要配合上游的壓力調(diào)節(jié)閥3，以達(dá)到更為精細(xì)的流量調(diào)節(jié)。兩個(gè)流量調(diào)節(jié)閥1各自安裝了一個(gè)質(zhì)量流量計(jì)2，用作流量調(diào)節(jié)參考（不對(duì)裝置計(jì)量產(chǎn)生影響，僅作流量調(diào)節(jié)參考使用）。這樣對(duì)于氣體小流量檢測(cè)時(shí)的氣源就可以達(dá)到一個(gè)既穩(wěn)定又很精細(xì)的程度。